Способ контроля выпуклых асферических оптических поверхностей высокоточных крупногабаритных зеркал - заявка 2016142129 на патент на изобретение в РФ

1. Способ контроля выпуклых асферических оптических поверхностей высокоточных крупногабаритных зеркал, заключающийся в том, что световой пучок лучей когерентного лазерного излучения, предварительно прошедший через оптический преобразователь, направляют на контролируемую поверхность зеркала и на вогнутую эталонную поверхность вспомогательного оптического элемента, воспринимают отраженный световой пучок и направляют его в систему регистрации, визуализирующую и преобразующую воспринимаемый пучок в отклонениях формы контролируемой поверхности зеркала от номинальной, отличающийся тем, что в качестве вспомогательного оптического элемента используют элемент с эталонной асферической вогнутой поверхностью, форма которой совпадает с формой контролируемой выпуклой поверхности зеркала, световой пучок лазерного излучения преобразуют в оптическом преобразователе в асферический волновой фронт, форма которого совпадает с формой асферической эталонной поверхности вспомогательного оптического элемента, и направляют его по нормали к контролируемой поверхности зеркала.
2. Способ контроля по п. 1, отличающийся тем, что в качестве вспомогательного оптического элемента используют элемент, выполненный из оптически прозрачного для светового пучка материала, направляют световой пучок лазерного излучения на обратную сторону эталонной поверхности вспомогательного оптического элемента и затем на контролируемую поверхность зеркала.
3. Способ контроля по п. 1, отличающийся тем, что световой пучок лазерного излучения направляют на обратную сторону контролируемой поверхности зеркала, выполненного из оптически прозрачного для светового пучка материала, и затем на эталонную поверхность вспомогательного оптического элемента.
Наверх