Способ изготовления монолитных контактов и зондов - заявка 2016143156 на патент на изобретение в РФ

Способ изготовления монолитных контактов и зондов с проводящей дорожкой, формируемой путем травления материала, отличающийся тем, что формирование монолитных контактов и зондов с проводящими дорожками осуществляется с помощью фотолитографии, при этом первый контур является маской для второго травления проводящего слоя, и второй контур первого слоя является маской для первого травления.
Наверх