Геттерный насос - заявка 2016143194 на патент на изобретение в РФ

1. Геттерный насос, включающий в себя корпус (21, 21'; 311; 411), имеющий форму тела вращения с осью (26; 46) вращения, и множество геттерных блоков (10, 100; 22, 23, 24, 25; 314, 315; 42, 43), установленных внутри указанного корпуса (21, 21'; 311; 411) геттерного насоса, при этом каждый геттерный блок (10, 100; 22, 23, 24, 25; 314, 315; 42, 43) содержит прямолинейный центральный поддерживающий элемент (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431) и геттерные элементы (12, 12', …, 12n), установленные с промежутками на указанном прямолинейном центральном поддерживающем элементе (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431), плоскость, ортогональная оси (26; 46) вращения и пересекающая центр прямолинейного центрального поддерживающего элемента (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431), образует установочную плоскость (222, 232, 242, 252; 422, 432) геттерного блока, отличающийся тем, что углы (α, α', αʺ, α'''; β, β'), образованные указанными установочными плоскостями (222, 232, 242, 252; 422, 432) и прямолинейными центральными поддерживающими элементами (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431), находятся в интервале от 35° до 75°, предпочтительно от 40° до 70°.
2. Геттерный насос по п. 1, в котором по меньшей мере один из указанных углов (α, α', αʺ, α'''; β, β'), образованных установочными плоскостями (222, 232, 242, 252; 422, 432) и прямолинейными центральными поддерживающими элементами (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431), отличается от одного или более из числа других углов.
3. Геттерный насос по п. 1, в котором указанное тело вращения представляет собой усеченный конус.
4. Геттерный насос по п. 2, в котором указанное тело вращения представляет собой усеченный конус.
5. Геттерный насос по п. 3, в котором прямолинейный центральный поддерживающий элемент (421, 431) геттерных блоков (42, 43) параллелен стенкам (41, 41') корпуса (411) в виде усеченного конуса.
6. Геттерный насос по п. 4, в котором прямолинейный центральный поддерживающий элемент (421, 431) геттерных блоков (42, 43) параллелен стенкам (41, 41') корпуса (411) в виде усеченного конуса.
7. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором, по меньшей мере, первый конец прямолинейного центрального поддерживающего элемента (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431) каждого геттерного блока (10, 100; 22, 23, 24, 25; 314, 315; 42, 43) находится в контакте с корпусом (21, 21'; 311; 411).
8. Геттерный насос по п. 7, в котором второй конец прямолинейного центрального поддерживающего элемента (11; 221, 231, 241, 251) по меньшей мере одного геттерного блока (10, 100; 22, 23, 24, 25; 314, 315) находится в контакте с внутренним поддерживающим элементом (27).
9. Геттерный насос по любому из пп. 1-4, в котором первый конец каждого геттерного блока (314, 315) соединен с внутренним поддерживающим элементом (27), а второй конец соединен с внешним поддерживающим элементом (316).
10. Геттерный насос по п. 8, в котором указанный внутренний поддерживающий элемент (27) расположен коаксиально с осью (26) вращения.
11. Геттерный насос по п. 9, в котором указанный внутренний поддерживающий элемент (27) расположен коаксиально с осью (26) вращения.
12. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
13. Геттерный насос по п. 7, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
14. Геттерный насос по п. 8, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
15. Геттерный насос по п. 9, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
16. Геттерный насос по п. 10, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
17. Геттерный насос по п. 11, в котором указанные расположенные с промежутками геттерные элементы (12, 12', …, 12n) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более металлов из титана, циркония, иттрия.
18. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором указанный прямолинейный центральный поддерживающий элемент (11; 221, 231, 241, 251; 421, 431) имеет длину в интервале от 4 до 30 см и предпочтительно поддерживает от 2 до 7 геттерных элементов (12, 12', …, 12n) на сантиметр.
19. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором указанный корпус (311) выполнен закрытым на одном конце основанием, а на другом конце закрыт вакуумным фланцем.
20. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором указанный корпус (21, 21'; 411) выполнен с открытыми торцами.
21. Геттерный насос по любому из пп. 1-6, в котором количество указанных геттерных блоков (10, 100; 22, 23, 24, 25; 314, 315; 42, 43) составляет от 2 до 100, предпочтительно от 4 до 25 блоков.
22. Применение геттерного насоса по п. 1 в системе откачки, содержащей различные типы вакуумных насосов.
23. Применение геттерного насоса по п. 1 в системе согласно п. 22, в которой указанные вакуумные насосы представляют собой вакуумный насос, выбранный из сорбционно-ионного насоса, турбомолекулярного насоса, криогенного вакуумного насоса, насоса с нераспыляемым поглотителем.
Наверх