Способ синтеза графено-подобных слоев по заданной глубине пористых кремниевых структур - заявка 2018106508 на патент на изобретение в РФ

1. Способ синтеза графено-подобных слоев по заданной глубине пористых кремниевых структур, включающий проведение процесса CVD при температуре в реакционной зоне 800-1100°С в парах этанола в инертном газе в режиме перепада давления в рабочей зоне от 5⋅104 Па до 1⋅103 Па, отличающийся тем, что режим перепада давления в рабочей зоне повторяют через 9-11 минут до создания графено-подобных слоев на стенках пор на заданную глубину пористых кремниевых структур.
2. Способ по п. 1. отличающийся тем, что температура реакционной зоны составляет 950°С, а повторение режима перепада давления в рабочей зоне осуществляют через 10 минут.
Наверх