Способ создания дифракционных решеток - заявка 2016149706 на патент на изобретение в РФ

1. Способ изготовления дифракционных решеток на поверхности подложки, включающий в себя формирование системы углублений пучком электромагнитного излучения лазера и последующим травлением, отличающийся тем, что для получения необходимого рельефа выбирают скорость перемещения лазерного пучка в диапазоне 100-3000 мм/с.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что применяют травление в анизотропном травителе для увеличения коэффициента формы в случае использования монокристаллического оптически прозрачного материала.
Наверх