Способ получения алмазоподобных тонких пленок - заявка 2016150202 на патент на изобретение в РФ

Способ получения тонких алмазоподобных пленок методом конденсации углерода на подложку из парогазовой фазы, полученной испарением мишени за счет лазерного воздействия в вакууме, отличающийся тем, что лазерное воздействие на мишень осуществляется расфокусированным лазерным излучением с длиной волны 1064 нанометра и интенсивностью энергии импульса не ниже 1,6*104 Вт/см2.
Наверх