Устройство для получения пленок - заявка 2017129614 на патент на изобретение в РФ

Устройство для получения многослойных пленок, содержащее подложкодержатель, расположенный в горизонтальном магнитном поле, и катод-мишень с экраном, имеющим отверстия над каждой мишенью распыляемого материала и изолирующие перегородки, позволяющие секторально разделить распыляемые материалы, отличающееся тем, что при распылении центр подложки перемещают вращением от центра одного отверстия с распыляемым материалом к другому посредством воздействия блока управления вращением, а конечные положения подложки над мишенью фиксируют по установленным датчикам положения, при этом положение заслонки, открытое или закрытое относительно мишени, определяют воздействием блока управления вращением на соответствующий двигатель с использованием датчика положения заслонки.
Наверх