Способ повышения эффективности легирования и изменения типа проводимости аморфного гидрогенизированного кремния, слабо легированного акцепторными примесями - заявка 2016152059 на патент на изобретение в РФ

1. Способ изменения типа проводимости пленок аморфного гидрогенизированного кремния, легированных бором, включающий формирование пленки на подложке посредством плазмохимического осаждения из газовой фазы моносилана (SiH4) и диборана (В2Н6) с объемным соотношением [B2H6]/[SiH4] в диапазоне от 10-6 до 10-5 и последующее облучение пленки фемтосекундными лазерными импульсами с центральной длиной волны излучения 1000-1100 нм с частотой повторения лазерных импульсов 50-500 кГц, длительностью импульсов 100-500 фс и плотностью энергии лазерных импульсов 150-200 мДж/см2.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что облучение пленки осуществляют посредством сканирования, преимущественно при скорости сканирования от 1 до 10 мм/с.
Наверх