Способ трехмерной реконструкции поверхности образца по изображениям, полученным в растровом электронном микроскопе - заявка 2016152560 на патент на изобретение в РФ

1. Способ трехмерной реконструкции поверхности образца по изображениям, полученным в растровом электронном микроскопе (РЭМ), включающий установку образца на предметном столике РЭМ с возможностью его наклона в два угловых положения относительно электронно-оптической оси, облучение образца сфокусированным пучком ускоренных электронов, детектирование сигнала вторичных электронов, эмиттируемых образцом, получение двух изображений при сканировании электронным пучком образца в двух угловых положениях предметного столика,
отличающийся тем, что с целью повышения точности трехмерной реконструкции, перед установкой в РЭМ на поверхности образца и поверхности тест-объекта с плоским и примерно горизонтальным участком поверхности формируют островковую пленку, островки которой создают контраст на РЭМ-изображениях, размещают тест-объект на предметном столике РЭМ и получают два изображения при сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов и детектировании сигнала вторичных электронов, эмитируемых тест-объектом, в двух угловых положениях предметного столика РЭМ, производят фотограмметрическую обработку изображений для образца и тест-объекта, используя координаты центров островков на изображениях, определяют по изображениям размер d каждого островка, вычисляют зависимость эффективной высоты h островков от их размера d, используя данные фотограмметрической обработки изображений для плоского участка тест-объекта, результат трехмерной реконструкции поверхности исследуемого образца представляют в виде совокупности трехмерных координат точек поверхности образца, соответствующих центрам островков, где XY координаты точек поверхности определяют на основе измеренных координат центров островков на изображениях образца, а Z-координату в каждой точке образца определяют как результат фотограмметрической обработки изображений образца в виде Z-координаты соответствующего островка, уменьшенной на значение эффективной высоты островка для данной точки.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что островки пленки формируются путем нанесения на поверхность объекта пленки золота толщиной 2 нм методом магнетронного распыления и последующего нагрева в вакууме до температуры 300°C в течение 30 мин.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в качестве тест-объекта используют плоский примерно горизонтально расположенный участок исследуемого образца.
4. Способ трехмерной реконструкции поверхности образца, имеющего плоский примерно горизонтальный участок в исследуемой области, по изображениям, полученным в растровом электронном микроскопе (РЭМ), включающий установку образца на предметном столике РЭМ с возможностью его наклона в два угловых положения относительно электронно-оптической оси, облучение образца сфокусированным пучком ускоренных электронов, детектирование сигнала вторичных электронов, эмиттируемых образцом, получение двух изображений при сканировании электронным пучком образца в двух угловых положениях предметного столика,
отличающийся тем, что, с целью повышения точности трехмерной реконструкции, перед установкой в РЭМ на поверхности образца формируют островковую пленку, островки которой создают контраст на РЭМ-изображениях, производят фотограмметрическую обработку изображений, используя координаты центров островков на изображениях, определяют по изображениям размер d каждого островка, вычисляют зависимость эффективной высоты h островков от их размера d, используя данные фотограмметрической обработки изображений для плоского участка образца, результат трехмерной реконструкции поверхности образца представляют в виде совокупности трехмерных координат точек поверхности, соответствующих центрам островков, где XY-координаты точек поверхности определяют на основе измеренных координат центров островков на изображениях образца, а Z-координату в каждой точке образца определяют как результат фотограмметрической обработки изображений в виде Z-координаты соответствующего островка, уменьшенной на значение эффективной высоты островка для данной точки.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что островки пленки формируются путем нанесения на поверхность объекта пленки золота толщиной 2 нм методом магнетронного распыления и последующего нагрева в вакууме до температуры 300°C в течение 30 мин.
6. Способ трехмерной реконструкции поверхности образца по изображениям, полученным в растровом электронном микроскопе (РЭМ), включающий установку образца на предметном столике РЭМ с возможностью его наклона в два угловых положения относительно электронно-оптической оси, облучение образца сфокусированным пучком ускоренных электронов, детектирование сигнала вторичных электронов, эмиттируемых образцом, получение двух изображений при сканировании электронным пучком образца в двух угловых положениях предметного столика и фотограмметрическую обработку изображений,
отличающийся тем, что с целью повышения точности трехмерной реконструкции, перед установкой в РЭМ на поверхности образца формируют островковую пленку, островки которой создают контраст на РЭМ-изображении, причем для фотограмметрической обработки изображений используются только островки, размеры которых, определяемые по РЭМ-изображениям, не превосходят среднего размера островков.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что островки пленки формируются путем нанесения на поверхность объекта пленки золота толщиной 2 нм методом магнетронного распыления и последующего нагрева в вакууме до температуры 300°C в течение 30 мин.
Наверх