Способ откачивания в системе вакуумных насосов и система вакуумных насосов - заявка 2017102492 на патент на изобретение в РФ

1. Способ откачивания в системе (SP, SPP) вакуумных насосов, содержащей:
главный вакуумный насос (3) со смазываемыми пластинами, имеющий патрубок (2) для впуска газов, соединенный с вакуумной камерой (1), и патрубок (4) для выпуска газов, ведущий в трубу (5) и открывающийся на выпуске (8) для газов системы (SP, SPP) вакуумных насосов;
обратный клапан (6), расположенный в трубе (5) между патрубком (4) для выпуска газов и выпуском (8) для газов; и
вспомогательный вакуумный насос (7) со смазываемыми пластинами, подсоединенный параллельно обратному клапану (6),
причем способ отличается тем, что:
активируют главный вакуумный насос (3) для откачивания газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через патрубок (4) для выпуска газов;
одновременно активируют вспомогательный вакуумный насос (7); и
обеспечивают непрерывную работу вспомогательного вакуумного насоса (7) все то время, пока главный вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или все то время, пока главный вакуумный насос (3) поддерживает заданное давление в вакуумной камере (1).
2. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что выпуск вспомогательного вакуумного насоса (7) присоединен к выпуску (8) для газов после обратного клапана (6).
3. Способ откачивания по п.1 или 2, отличающийся тем, что размеры вспомогательного вакуумного насоса (7) определяются минимальным потреблением энергии его электродвигателя.
4. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что номинальную производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) выбирают в зависимости от ограниченного обратным клапаном (6) объема выпускной трубы (5) главного вакуумного насоса (3).
5. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что производительность вспомогательного вакуумного насоса составляет от 1/500 до 1/5 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
6. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
7. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда абсолютное давление на стороне всасывания главного вакуумного насоса (3) находится между 50 кПа (500 мбар) и конечным вакуумом.
8. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выпускает газы в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
9. Способ откачивания по п.1, отличающийся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) встроен в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
10. Система (SP, SPP) вакуумных насосов, содержащая:
главный вакуумный насос (3) со смазываемыми пластинами, имеющий патрубок (2) для впуска газов, соединенный с вакуумной камерой, и патрубок (4) для выпуска газов, ведущий в трубу (5) и открывающийся на выпуске (8) для газов системы (SP, SPP) вакуумных насосов;
обратный клапан (6), расположенный в трубе (5) между патрубком (4) для выпуска газов и выпуском (8) для газов; и
вспомогательный вакуумный насос (7) со смазываемыми пластинами, подсоединенный параллельно обратному клапану (6),
причем система (SP, SPP) вакуумных насосов отличается тем, что
вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью работы все то время, пока главный вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или все то время, пока главный вакуумный насос (3) поддерживает заданное давление в вакуумной камере (1).
11. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что выпуск вспомогательного вакуумного насоса (7) присоединен к выпуску (8) для газов после обратного клапана (6).
12. Система вакуумных насосов по п.10 или 11, отличающаяся тем, что размеры вспомогательного вакуумного насоса (7) определены минимальным потреблением энергии его электродвигателя.
13. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что номинальная производительность вспомогательного вакуумного насоса (7) выбрана в зависимости от ограниченного обратным клапаном (6) объема выпускной трубы (5) главного вакуумного насоса (3).
14. Система вакуумных насосов по п.13, отличающаяся тем, что производительность вспомогательного вакуумного насоса составляет от 1/500 до 1/5 номинальной производительности главного вакуумного насоса (3).
15. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) является одноступенчатым или многоступенчатым.
16. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда абсолютное давление на стороне всасывания главного вакуумного насоса (3) находится между 50 кПа (500 мбар) и конечным вакуумом.
17. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) выполнен с возможностью выпускания газов в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
18. Система вакуумных насосов по п.10, отличающаяся тем, что вспомогательный вакуумный насос (7) встроен в маслоотделитель главного вакуумного насоса (3).
Наверх