Геттерная насосная система - заявка 2017102266 на патент на изобретение в РФ

1. Геттерная насосная система (10; 20; 30), содержащая часть (11; 21; 31) стенки, множество геттерных блоков (100; 210; 310, 320) с линейной опорой, соединенной с указанной частью (11; 21; 31) стенки, и множество линейных нагревателей, отличающаяся тем, что площадь поверхности указанной части (11; 21; 31) стенки составляет по меньшей мере 0,5 м2, плотность указанных геттерных блоков (100; 210; 310, 320) составляет от 20 до 2500 блоков на квадратный метр, и плотность указанных линейных нагревателей составляет от 20 до 5000 обогревателей на квадратный метр.
2. Геттерная насосная система по п. 1, в которой величина произведения количества геттерных блоков (100; 210; 310, 320) на квадратный метр и средней площади верхней поверхности геттерных блоков, выраженной в квадратных метрах, находится в диапазоне от 0,04 и 0,7.
3. Геттерная насосная система по п. 2, в которой соотношение между количеством геттерных блоков и количеством нагревателей находится в диапазоне от 0,66 до 4.
4. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-3, в которой масса геттерного материала в блоке составляет от 1,5 до 500 г.
5. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-4, в которой геттерные блоки (100; 210; 310, 320) содержат расположенные друг над другом диски геттерного материала.
6. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-4, в которой геттерные блоки (100; 210; 310, 320) содержат таблетки из геттерного материала со средством для удержания геттерных порошков.
7. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-5, в которой линейные нагреватели являются частью узла геттерных блоков (100; 210; 310, 320).
8. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-6, в которой линейные нагреватели примыкают к множеству геттерных блоков (100; 210; 310, 320).
9. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-8, в которой средняя величина угла, образованного линейными опорами смежных геттерных блоков (100; 210; 310, 320) и линейными нагревателями, равна или меньше 30°, предпочтительно, равна или меньше 15°.
10. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-9, в которой каждый из указанных геттерных блоков (100; 210; 310, 320) и каждый из указанных линейных нагревателей является съемным.
11. Геттерная насосная система по любому из пп. 1-10, содержащая множество платформенных подузлов, каждый из которых содержит от 2 до 10 геттерных блоков (100; 210; 310, 320) и от 1 до 11 линейных нагревателей.
12. Способ вакуумирования камеры с внутренней поверхностью, составляющей по меньшей мере 10 м2, включающий в себя этап, на котором устанавливают на стенке камеры множество геттерных блоков с линейной опорой и множество линейных нагревателей, отличающийся тем, что площадь поверхности указанной стенки составляет по меньшей мере 0,5 м2, плотность указанных геттерных блоков составляет от 20 до 2500 блоков на квадратный метр, и плотность указанных линейных нагревателей составляет от 20 до 5000 нагревателей на квадратный метр.
13. Способ по п. 12, в котором величина произведения количества геттерных блоков на квадратный метр и средней площади верхней поверхности геттерных блоков, выраженной в квадратных метрах, находится в диапазоне от 0,04 и 0,7.
Наверх