Способ металлизации полиимидной пленки - заявка 2017103928 на патент на изобретение в РФ

Способ металлизации полиимидной пленки, в котором проводят ее предварительный вакуумный отжиг с последующим нанесением двух молибденовых слоев в разных режимах при строгом контроле их толщин, при этом полиимидную пленку предварительно отжигают в вакууме при T=300-350°C, затем на первом этапе осаждают молибденовый слой при давлении p1>6×10-3 мм рт.ст., а на втором - при p2=(2÷6)×10-3 мм рт.ст., данные слои наносят в соотношении d1≥d2, где d1 - толщина первого слоя, d2 - толщина второго слоя
Наверх