Микроструктурные технологии (B81)
B81 Микроструктурные технологии(126)
Изобретение относится к области приборостроения, микросистемной техники и наномеханики, в частности, к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ) для манипулирования микро- и нанообъектами и может найти применение в радиоэлектронике, машиностроении, нанотехнологии, электронной микроскопии, медицине, биологии.
Изобретение относится к способам герметизации МЭМС устройств. Способ заключается в том, что производят формирование канавок в основании, применение технологии временного бондинга с процессом утонения, заполнение канавок методом атомно-слоевого осаждения материала, при этом вывод соединяющих шин из рабочей области герметизации осуществляют через обратную сторону основания, формирование в основании углубления и рабочей полости производится за счет одного фотошаблона и одного плазмохимического травления, формирование на крышке выступов и области геттера, при этом выступы крышки и углубления основания имеют цилиндрическую форму, одинаковый диаметр и высоту.
Группа изобретений относится к области биомедицинских сенсоров и манипуляторов новых поколений. Способ изготовления микропинцета с градиентом магнитного поля включает обработку микропровода состава PrDyFeCoB смесями кислот при повышенной температуре с последующей промывкой дистиллированной водой и сушкой.
Изобретение относится к микрожидкостным устройствам. Раскрыто микрожидкостное устройство для селективного захвата целевых биологических объектов, содержащее а) массив симметричных столбиков в форме капли (1), в которых линии хорды (5) симметричных столбиков в форме капли параллельны друг другу и при этом геометрические центры симметричных столбиков в форме капли образуют ромбическую решетку (4), характеризующуюся тем, что длина (d) стороны ромба в решетке образована как Евклидово расстояние между геометрическими центрами двух соседних симметричных столбиков в форме капли, b) извилистый микрожидкостный канал (2) и c) объем захвата (3), при этом извилистый микрожидкостный канал (2) содержит последовательность сегментов эллипса (13), каждый из которых характеризуется хордой, параллельной большой или малой оси эллипса, причем указанная хорда разделена на секцию впуска (17) и секцию выпуска (18), через которые целевой биологический объект входит в сегмент эллипса (13) и выходит из него, причем сегменты эллипса соединены друг с другом, причем следующий сегмент эллипса формируется путем поворота предшествующего сегмента эллипса вокруг его хорды и параллельного переноса на расстояние, равное секции впуска (17), вдоль хорды, причем объем захвата (3) определяется логическим вычитанием массива симметричных столбиков в форме капли из извилистого микрожидкостного канала.
Изобретение относится к области оптики и касается способа генерации резонансных мод Ми высокого порядка в мезоразмерных диэлектрических частицах. Способ заключается в размещении мезоразмерной диэлектрической частицы в прозрачной для излучения среде, с показателем преломления материала частицы, превышающим показатель преломления материала окружающей среды, и облучаемой плоской линейно-поляризованной электромагнитной волной.
Изобретение относится к конструктивным элементам МЭМС и способам их изготовления. Технический результат заключается в повышении надежности модуля при работе в условиях высоких температур.
Изобретение относится к системе управления устройством с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами. Система содержит микропроволоку с основанием и концом, выполненным коническим и заточенным путем электрохимического травления, на котором закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, рабочее поле с манипулируемым объектом и источник подогрева, при этом основание микропроволоки укреплено на нанопозиционере, причем источник подогрева выполнен в виде малоразмерного резистивного нагревающего элемента, расположенного в тепловом контакте с микропроволокой, и электронную систему питания и управления током, протекающим через резистивный элемент, подводящие провода, соединяющие резистивный элемент с электронной системой питания и управления током, причем конец микропроволоки выполнен с переменным профилем в виде комбинации геометрических фигур - усеченного конуса, цилиндра с диаметром меньшим, чем диаметр основания проволоки, и конуса, на острие которого закреплено устройство с ЭПФ для манипулирования микро- и нанообъектами, а нагревательный элемент расположен на поверхности цилиндра с меньшим диаметром.
Изобретение относится к наноэлектронике, а именно к способам изготовления элементов и структур приборов с квантовыми эффектами. Предлагается способ изготовления проводящей наноячейки с квантовыми точками, включающий нанесение на непроводящую подложку нанопленки металла ванадия, активированного алюминием в объемной доле 1-5%, в виде полоски-проводника наноразмерной ширины; поверх нее – защитной маски с нанощелью поперек полоски-проводника; плазмохимическое травление через нанощель маски тетрафторидом углерода в проточной среде очищенного аргона при охлаждении реактивной зоны в интервале температур не ниже точки росы в камере-реакторе; при этом скорость травления регулируется и подбирается экспериментально для обеспечения высокого аспектного числа наноячейки; адресное осаждение квантовых точек проводится электрофоретически из матрицы, выполненной в виде мономолекулярной пленки, нанесенной методом Ленгмюра-Блоджетт; при этом адресность расположения квантовых точек в нанозазоре между наноэлектродами наноячейки обеспечивается поочередной подачей постоянного или переменного напряжения между одним из наноэлектродов и электродом электрофоретического устройства.
Изобретение относится к биотехнологии, в частности к способу изготовления микрорельефа на рабочей поверхности оптически прозрачной базовой пластины и соединения базовой и защитной пластин, обеспечивающему массовое производство биочипов и их функционирование совместно с трансдьюсерами флуоресцентного типа в широком спектральном диапазоне, что достигается путем отливки базовой пластины из предварительно облученного электронами мономера ММА, без введения в него каких-либо инициаторов полимеризации и иных добавок, и соединения (склейки) базовой и защитной пластин посредством того же самого облученного электронами мономера ММА.
Группа изобретений относится к области микроустройств, в частности, относящихся к типу микроэлектромеханических систем (MEMS). Микроустройство в виде инерциального датчика, содержащего множество подвижных элементов (100), и способ изготовления микроустройства (100) путем травления, содержащего подвижный элемент (111), способный перемещаться относительно фиксированного участка (115), созданный в первом и втором слоях (104, 106) материала, расположенных один над другим так, что подвижный элемент содержит участок (112) первого слоя и участок (118) второго слоя, скрепленные друг с другом, и в котором подвижный элемент подвешен на фиксированном участке с помощью средства (121) подвески, сформированного в первом и/или втором слое материала.
Изобретение относится к области теплоэнергетики и может быть использовано для стабилизации капельной конденсации на поверхности металлов и её защиты от коррозии. Для формирования супергидрофобной структуры металлической поверхности сначала сферическими частицами продавливают микротекстуру с характерным размером 70-80 мкм, затем осаждают из газовой фазы наночастицы углерода размером 5-100 нм, формируя тем самым структуру с комбинированной шероховатостью.
Изобретение относится к устройству и способу для анализа частиц и формирования изображения частиц или клеток во флюидах, и в частности к устройству и способу формирования изображения частиц во флюидах при использовании давления, динамики флюида, электрокинетических и оптических сил.
Изобретение относится к технической области электромеханических устройств. Устройство МЭМС или НЭМС типа датчика или привода, имеющее упорный набор, включающий в себя: - первый плоский слой, содержащий первый плоский электрод, предназначенный для подачи на него первого электрического потенциала, и второй плоский электрод, предназначенный для подачи на него второго электрического потенциала, отличного от первого потенциала, при этом первый плоский электрод является подвижным относительно второго плоского электрода в первом направлении, параллельном первому плоскому слою, - второй плоский слой, наложенный на первый плоский слой и электрически изолированный от первого плоского слоя по меньшей мере одним промежуточным слоем из изоляционного материала, при этом второй плоский слой содержит первый плоский элемент, механически соединенный с первым плоским электродом, и второй плоский элемент, механически соединенный со вторым плоским электродом, при этом дополнительно содержит по меньшей мере один упорный элемент, проходящий от первого плоского элемента или от второго плоского элемента в первом направлении и выступающий относительно указанного плоского элемента в первом направлении, при этом упорный элемент, который проходит от одного из плоских элементов, предназначен для подачи на него такого же электрического потенциала, что и на находящуюся напротив поверхность, принадлежащую к другому из плоских элементов, при этом упорный элемент и электроды выполнены так, чтобы упорный элемент входил в контакт с находящейся напротив поверхностью и блокировал сближение двух плоских электродов в первом направлении во время воздействия.
Данное изобретение относится к способам изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков, в частности к способам изготовления, сочетающим объемное травление КНИ-структуры с микромеханической обработкой.
Изобретение относится к технологии формирования наноструктурированных покрытий и может быть использовано для создания сенсоров, электронных устройств, катализаторов. Техническая проблема заявляемого изобретения заключается в разработке эффективного способа переноса нитевидных нанокристаллов на подложку без потерь и загрязнений.
Изобретение относится к микрофлюидным устройствам, а именно к системе управления реагентами. Прибор для управляемых химических реакций с модулем гибкого соединения содержит систему управления реагентами, выполненную с возможностью расположения в указанном приборе, при этом система управления реагентами содержит множество лунок для реагентов, при этом каждая лунка для реагента выполнена с возможностью вмещения реагента из множества размещенных в системе реагентов, при этом система управления реагентами выполнена с возможностью выбора потока реагента из одной из множества лунок для реагентов; модуль детектирования; и модуль гибкого соединения, содержащий: гибкое соединение, состоящее из многослойного пакета и выполненное с возможностью расположения в приборе, при этом гибкое соединение содержит первый гибкий канал, связанный по текучей среде с системой управления реагентами, при этом первый гибкий канал выполнен с возможностью направления по нему потока реагента; и проточную ячейку, выполненную с возможностью расположения в приборе, при этом проточная ячейка содержит проточный канал, связанный по текучей среде с первым гибким каналом, при этом проточный канал выполнен с возможностью направления потока реагента поверх аналитов, расположенных в проточном канале; причем проточная ячейка выполнена с возможностью перемещения прибором относительно фиксированной базовой точки в приборе, будучи при этом соединенной с гибким соединением.
Настоящее изобретение относится к устройству тестирования и настройки оптической системы комплекса визуализации изображений микрообъектов, а также к способу его изготовления. Устройство для тестирования и настройки оптической системы комплекса визуализации изображений микрообъектов состоит из микрофлюидного чипа с внутренним оптически прозрачным каналом, содержащим две плоские поверхности, и микросфер, флуоресцирующих в одном или нескольких спектральных диапазонах, которые иммобилизованы монослоем на одной из поверхностей указанного канала микрофлюидного чипа.
Изобретение относится к способу in vitro для определения модулирующего влияния исследуемого соединения на барьерную функцию эпителия, который включает стадии а) обеспечения микрофлюидной системы, содержащей множество полых микрофлюидных каналов, при этом указанная система содержит по меньшей мере один канал, который по меньшей мере частично заполнен гидрогелем; b) введения эпителиальных клеток в указанный микрофлюидный канал и обеспечения приведения указанных эпителиальных клеток в контакт с указанным гидрогелем; c) культивирования указанных эпителиальных клеток, которые были введены в указанный микрофлюидный канал, тем самым позволяя указанным клеткам образовывать на гидрогеле слой клеток с апикальной и базолатеральной стороной; d) обеспечения указанных эпителиальных клеток в указанном микрофлюидном канале зондом и указанным исследуемым соединением, при этом указанный зонд и указанное исследуемое соединение независимо обеспечивают с апикальной стороны, с базолатеральной стороны или как с апикальной, так и базолатеральной стороны; e) определения в различные моменты времени сигнала, обеспечиваемого указанным зондом в указанном микрофлюидном канале или в указанном гидрогеле или как в указанном микрофлюидном канале, так и в указанном гидрогеле, и, тем самым, определения модулирующего влияния исследуемого соединения на барьерную функцию эпителия.
Настоящее изобретение предлагает модуль микрофона и электронное устройство и относится к области технологии электронных устройств. Модуль микрофона содержит корпус, печатную плату, преобразователь сигналов и адгезивный элемент.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Молекулярно-электронный преобразующий элемент включает две группы электродов, в каждой из которых один электрод - анод находится при потенциале более высоком, чем второй электрод - катод, при этом согласно изобретению молекулярно-электронный преобразующий элемент содержит дополнительные электроды, расположенные вблизи областей, находящихся при том же потенциале, что и катод, но гальванически развязанных от катода.
Изобретение относится к области прецизионного манипулирования и может быть использовано для переноса слоев атомарно тонких материалов, таких как графен, на планарные подложки любого типа с достаточной адгезией, в том числе для создания Ван-дер-Ваальсовых гетероструктур и гибридных устройств на их основе.
Использование: для изготовления микродиагностических устройств. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микродиагностического устройства заключается в формировании каждой из перегородок при совмещении плоскости минимального сечения лазерного пучка по уровню энергии 1/е2, диаметр сечения которого 2ω0 определяют из выражения где ω0 - радиус минимального сечения лазерного пучка по уровню энергии 1/е2, М - качество пучка, λ - длина волны излучения, NA - числовая апертура объектива, и с плоскостью, отстоящей от тыльной поверхности пластины на расстояние, не меньшее чем в которой, перемещая пластину относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω0 на всю длину микродиагностического устройства по одной из координат X или Y, формируют первую линию уплотнения, входящую в совокупность линий уплотнения, составляющих перегородку, и далее, смещая плоскость с минимальным сечением лазерного пучка в направлении к верхней поверхности пластины по координате Z на расстояние, не меньшее чем и не большее чем а область минимального сечения лазерного пучка 2ω0 смещают соответственно по одной из координат Y или X на расстояние, не меньшее чем 0,5⋅2ω0 и не большее чем 1,0⋅2ω0, и перемещая пластину относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω0 на всю длину микродиагностического устройства по той же координате, по которой формировали линию уплотнения, и далее, многократно чередуя смещение плоскости минимального сечения лазерного пучка 2ω0 в направлении к верхней поверхности пластины по координате Z, а области минимального сечения лазерного пучка 2ω0 по координате Y или X с перемещением пластины относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω0 с перемещением на всю длину микродиагностического устройства, в соответствии с ограничениями на формирование линий уплотнения формируют перегородку.
Изобретение относится к малоразмерным бинарным космическим аппаратам (БКА), предназначенным для создания реконфигурируемых антенных систем. БКА содержит два цилиндрических корпуса, на торцах которых с помощью телескопических штанг размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД), осуществляющие развертывание гибкой подложки солнечной батареи (СБ), интегрированной с антенной.
Изобретение относится к измерительной технике в частности к чувствительным элементам (электродным узлам) молекулярно-электронных преобразователей диффузионного типа. Сущность изобретения заключатся в том, что в преобразующем элементе молекулярно-электронного преобразователя диффузионного типа, содержащем две пары выполненных из нитей сетчатых электродов, расположенных перпендикулярно потоку рабочей жидкости и подключенных к источнику напряжения таким образом, что в каждой паре сетчатых электродов потенциал одного из электродов - анода выше потенциала другого электрода - катода, поверхности нитей, из которых изготовлены катоды, покрыты диэлектрическим слоем со стороны, противоположной близлежащему аноду.
Изобретение относится к области устройств для детектирования. Устройство детектирования включает спектрометр ионной подвижности для обнаружения представляющего интерес вещества, содержащий пневматическую систему; пневматический интерфейс, выполненный для установки на плату печатного монтажа (ППМ) и содержащий полимерный корпус, имеющий множество пневматических каналов для соединения с пневматической системой спектрометра ионной подвижности, при этом множество насосных муфт расположены на поверхности корпуса так, что, когда интерфейс установлен на ППМ, каждая из множества насосных муфт приводится в соответствие с соответствующим одним из множества насосов для соединения каждого насоса с соответствующим каналом из множества пневматических каналов.
Изобретение относится к конструкции и оборудованию главным образом малоразмерных спутников, предназначенных для создания антенных систем. Бинарный космический аппарат (БКА) содержит два кубических корпуса с поворотными телескопическими штангами, на которых размещены мультивекторные матричные ракетные двигатели (ММРД) для развёртывания гибкой солнечной батареи, интегрированной с коллинеарной антенной, информационными и силовыми шинами, позиционной штрихкодовой лентой.
Изобретение относится к устройству для манипулирования микро- и нанообъектами и способу изготовления микромеханического актюатора и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.
Изобретение относится к многослойной структуре, в которой смежные слои имеют разные характеристики поглощения излучения и может быть использовано в биотехнологии, оптоэлектронике и микроэлектромеханических системах.
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микромеханического компонента, полученного из материала на кремниевой основе, включает следующие стадии: a) обеспечение подложки на кремниевой основе; b) формирование маски, пронизанной отверстиями, на горизонтальной части подложки; c) протравливание в травильной камере предварительно определенных наклонных стенок на части толщины подложки от отверстий в маске в целях формирования верхних фасочных поверхностей микромеханического компонента; d) протравливание в указанной травильной камере по существу вертикальных стенок (47) на по меньшей мере части толщины подложки от дна области, представляющей собой результат травления, полученной на стадии с), в целях получения периферийных стенок микромеханического компонента под верхними фасочными поверхностями; e) освобождение микромеханического компонента от подложки и маски.
Изобретение относится к электронной технике. Технический результат – осуществление технологической операции вакуумной сушки, обеспечение требуемого давления инертного газа в объеме микрокорпуса, снижение расхода инертного газа, повышение производительности.
Изобретение относится к компоненту на кремниевой основе, характеризующемуся по меньшей мере одной уменьшенной поверхностью контакта, который, будучи полученным при использовании способа, объединяющего по меньшей мере одну стадию протравливания наклонной боковой стенки с протравливанием вертикальных боковых стенок от компании «Bosch», улучшает, в частности, трибологию компонентов, полученных в результате проведения механической микрообработки пластины на кремниевой основе.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутации сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Группа изобретений относится к технологии изготовления волоконно-оптических матриц для биочипов и может быть использовано в аналитической химии, молекулярной биологии, биотехнологии, фармакологии, медицине.
Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов. Техническим результатом является коммутация сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электрода электростатического привода.
Изобретения относятся к области химического материаловедения и могут быть использованы при изготовлении датчиков химического состава, электрохимических источников тока, носителей катализаторов, химических реагентов, меток, хроматографических фаз или дозы лекарства в микрокапсулах.
Изобретение относится к микроструктуре, содержащей биосовместимый полимер или адгезив, и к способу ее получения. Изобретение оптимизирует аспектное отношение в соответствии с типом каждой из микроструктур, обеспечивая посредством этого оптимальные для проникновения через кожу угол кончика и диапазон диаметров.
Использование: для манипулирования микро- и нанообъектами. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для манипулирования микро- и нанообъектами включает два плоских элемента, из которых, по крайней мере, один выполнен термочувствительным, состоящим из двух слоев, из которых один изготовлен из предварительно псевдопластически растянутого сплава с ЭПФ, а другой из упругого материала, причем слои прочно соединены между собой, а элементы соединены с одного конца, а с другого конца сформирован захват для удержания объекта манипулирования, причем в термочувствительном элементе упругий слой выполнен в виде пленки металла, нанесенной на слой сплава с эффектом памяти формы с внешней стороны устройства, а захват для удержания объекта сформирован в сплаве с памятью формы, дополнительно содержит защитный слой диэлектрического прочного материала, нанесенный на рабочие поверхности микромеханического устройства.
Способ по изобретению относится к области изготовления сухих адгезивов для создания достаточно прочной связи между поверхностями соединяемых тел, когда на поверхности как минимум одного тела создается массив отдельно стоящих ворсинок.
Изобретение относится к устройствам коаксиального электроформования полимерных капсул или тонких волокон микро- и субмикронного размера. Техническим результатом является обеспечение возможности формирования микро- и субмикронных структур определенной геометрической формы из полимерных растворов низкой вязкости и улучшение качества покрытий микро- и субмикронных структур за счет равномерного распыления полимерного раствора.
Изобретение относится к способу изготовления микромеханической детали, изготавливаемой из цельного материала на основе аллотропа синтетического углерода, при этом способ содержит этап образования подложки с негативной полостью для микромеханической детали, подлежащей изготовлению, этап нанесения покрытия на негативную полость подложки в виде слоя материала на основе аллотропа синтетического углерода, толщина которого меньше глубины негативной полости, и этап удаления подложки для освобождения цельной микромеханической детали, образованной в вышеуказанной негативной полости.
Изобретение относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике устройств на основе материалов с эффектом памяти формы (ЭПФ), и может найти применение в области радиоэлектроники, машиностроения, биотехнологии, электронной микроскопии, медицины.
Группа изобретений относится к области медицинских изделий. Первое изобретение представляет собой способ изготовления имплантата с по меньшей мере одной функциональной поверхностью, отличающийся тем, что способ включает следующие стадии a) подготовку керамической порошковой смеси; b) смешивание этой керамической порошковой смеси с пластической связующей системой с образованием первого сырьевого материала; с1) разделение первого сырьевого материала и смешивание его части с наполнителями для образования второго сырьевого материала или с2) получение второго сырьевого материала в соответствии со стадиями а) и b); d) проведение процесса формования, при котором основную часть и поверхность, имеющую сродство к костям, формуют из первого и второго сырьевого материала; e) удаление связующего вещества из сырца; f) спекание сформованной и подвергнутой удалению связующего вещества заготовки имплантата с получением готового имплантата с поверхностью, имеющей сродство к костям.
Использование: для создания датчика перепадов давления. Сущность изобретения заключается в том, что датчик для измерения перепадов давления содержит электронный чип и сенсорный чип, находящиеся внутри функционального объема, который имеет длину максимум 4-5 мм, ширину максимум 2-3 мм и высоту максимум 0,5-0,8 мм, причем сенсорный чип выполнен с возможностью измерения перепада давления в диапазоне 10-500 Пa.
Использование: для герметизации МЭМС устройств. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает формирование в приборном слое изолирующих канавок глубиной до захороненного окисла, формирование на поверхности приборного слоя металла в зоне эвтектического сплава и на контактных площадках МЭМС-устройств, формирование на герметизирующей крышке соединяющих шин и обкладок емкостей на основе легированного поликремния, формирование на герметизирующей крышке межслойного диэлектрика и второго уровня поликремния в зоне эвтектического сплава, приведение металла приборного слоя в контакт с поликремнием на герметизирующей крышке с приложением необходимого давления и температуры для образования эвтектического сплава.
Изобретение относится к микрокристаллическому алмазному покрытию, предназначенному для трибологических областей применения в сфере микромеханики, а также в оптике. Микромеханическая деталь включает подложку, имеющую поверхность с алмазным покрытием, включающим по меньшей мере одну стопку из первого нанокристаллического алмазного слоя с размером зерен на поверхности, меньшим, чем 50 нм, и второго микрокристаллического слоя с размером зерен на поверхности порядка 100 нм, при этом алмазный слой, наиболее приближенный к подложке, является нанокристаллическим, а поверхность алмазов, наиболее удаленная от подложки, является микрокристаллической.
Группа изобретений относится к области биохимии. Предложена оснастка для получения заготовки микрофлюидного чипа, способ получения заготовки микрофлюидного чипа, заготовка микрофлюидного чипа, способ изготовления микрофлюидного чипа и микрофлюидный чип.
Группа изобретений относится к области механики, микросистемной техники и наномеханики, в частности к технике манипуляторов (пинцетов) для захвата и перемещения нано- и микрообъектов. Сущность изобретений заключается в том, что микроманипулятор содержит, по крайней мере, один манипулирующий элемент, выполненный композитным и одномерным, при этом, по крайней мере, один манипулирующий элемент содержит внутреннюю металлическую магнитострикционную сердцевину и внешнюю металлическую магнитострикционную оболочку, причем постоянная магнитострикции внешней оболочки отличается знаком или величиной от постоянной магнитострикции сердцевины, а внешняя металлическая магнитострикционная оболочка асимметрично покрывает поверхность сердцевины, и только частично.
Изобретение относится к оптической технике. Оптический модулятор, каждый пиксель которого содержит перекрывающие площадь пикселя неподвижный плоский поляризатор и параллельный ему подвижный плоский поляризатор.
Изобретение относится к двигательным ракетным системам для малоразмерных космических аппаратов и предназначено для использования в качестве маневрового двигателя при выполнении линейных и угловых перемещений.
Использование: для создания микромеханического компонента. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический компонент включает в себя подложку и активную структуру, которая выполнена с возможностью отклонения относительно подложки по меньшей мере в одном направлении и которая имеет по меньшей мере один первый участок и второй участок, причем первый участок и второй участок электропроводны, физически жестко соединены друг с другом вдоль первой оси (X) и электрически изолированы друг от друга посредством изолирующего участка, первый электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и второй электрод, который проходит наружу из первого участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении, причем вторая ось (Y) расположена перпендикулярно первой оси (X), и причем второе направление противоположно первому направлению, и третий электрод, который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) в первом направлении, и четвертый электрод (232), который проходит наружу из второго участка вдоль второй оси (Y) во втором направлении.