Патенты автора Тимеркаев Борис Ахунович (RU)
Изобретения относятся к способам и устройствам для осуществления тлеющего разряда и могут найти применение при обработке поверхности и нанесении покрытий на поверхности различных изделий в вакууме, в машиностроении для поверхностной термообработки, напыления и упрочнения, а также для получения излучения, например для накачки лазеров. Технический результат - обеспечение горения тлеющего разряда при давлении от 10 Торр и ниже. В способе осуществления тлеющего разряда, включающем зажигание тлеющего разряда между анодом и катодом в газоразрядной камере с поперечным к направлению электрического поля потоком рабочего газа, при зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере от P=10 Торр и ниже, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства, за счет организации сверхзвукового потока рабочего газа в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении при скорости потока газа более V=300 м/с. Устройство для осуществления тлеющего разряда содержит откачную вакуумную систему, подключенную к газоразрядной камере с размещенными в ней анодом, катодом, патрубками для подачи и откачки рабочего газа, устройством для формирования потока рабочего газа. Устройство содержит конфузор, а устройство для формирования потока рабочего газа выполнено как сверхзвуковое сопло, являющееся диффузором, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно против друг друга таким образом, что ось конфузора и диффузора находится в поперечном к оси анода и катода направлении на заданном расстоянии относительно анода и катода, также имеется патрубок для откачки остаточного газа из газоразрядной камеры. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к области получения пучков ионов и может быть использовано для решения научных и прикладных задач, в частности использоваться в ускорителях или масс-спектрометрии и для обработки поверхностей различных изделий в вакууме. Технический результат - обеспечение получения потока ионов при давлении от 10-2 Торр и ниже, а также упрощение способа и конструкции устройства. В способе работы плазменного источника ионов в газоразрядную камеру предварительно вводят рабочий газ через газоввод, создают магнитное поле с вектором индукции преимущественно осевого направления относительно анода и катода, подают напряжение на анод и на полый катод, зажигают тлеющий разряд, образуют ионы за счет бомбардировки атомов рабочего газа электронами, достигается тем, что при зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере ниже Р=10-2 Торр, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства за счет организации сверхзвукового потока рабочего газа в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении при скорости потока газа более V=300 м/с. Устройство плазменного источника ионов содержит откачную вакуумную систему, подключенную к газоразрядной камере, с размещенными в ней газовводом для рабочего газа, полым катодом, анодом, и магнитную систему, предназначенную для создания в разрядной камере магнитного поля с вектором индукции осевого направления относительно анода и катода, дополнительно содержит конфузор, а газоввод выполнен как сверхзвуковое сопло, являющееся диффузором, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно против друг друга таким образом, что ось конфузора и диффузора находится в поперечном к оси анода и катода направлении на заданном расстоянии относительно анода и катода. 2 н.п. ф-лы. 3 ил.
Изобретения относятся к способу и устройству для нанесения покрытий в вакууме. Напускают в вакуумную камеру рабочий газа. В качестве источника осаждаемых частиц используют катод с мишенью. При зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере ниже Р=10-2 Торр, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства путем создания сверхзвукового потока рабочего газа со скоростью более V=300 м/с в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении. Устройство нанесения покрытий содержит газоразрядную камеру и размещенные в ней катод с мишенью и анод, газоввод для напуска рабочего газа в виде сверхзвукового сопла, являющегося диффузором, конфузор, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно друг против друга с обеспечением расположения оси конфузора и диффузора в направлении, поперечном к оси анода и катода, на заданном расстоянии относительно анода и катода. Изобретение позволяет получить высокую скорость нанесения покрытий при низких давлениях, что повышает чистоту процесса, а также упрощает конструкцию устройства. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ САЖИ, СОДЕРЖАЩЕЙ ФУЛЛЕРЕНЫ И НАНОТРУБКИ, ИЗ ГАЗООБРАЗНОГО УГЛЕВОДОРОДНОГО СЫРЬЯ // 2531291
Изобретение относится к области плазмохимии и может быть использовано для производства фуллеренов и нанотрубок. Углеродосодержащее сырье разлагают в газовом разряде, для чего сначала зажигают объемный тлеющий разряд в смеси газообразных углеводородов и инертного газа при давлении 20-80 Торр. Затем при визуальном наблюдении добиваются горения тлеющего разряда с контрагированной катодной областью и диффузным положительным столбом. Продукты разложения
осаждают в виде сажи.
Проведение процесса в сильнонеравновесном электрическом разряде позволяет повысить скорость получения сажи и в 9,6 раза увеличить выход нанотрубок и фуллеренов на единицу вложенной энергии. 1 ил.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ САЖИ, СОДЕРЖАЩЕЙ ФУЛЛЕРЕНЫ И НАНОТРУБКИ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2511384
Изобретение относится к нефтехимической промышленности и плазмохимии и может быть использовано для плазменной обработки и утилизации отходов нефтепереработки. Жидкое углеводородное сырьёе 5 разлагают электрическим разрядом в разрядном устройстве, расположенном в вакуумной камере 6. Устройство включает изготовленные из меди катод 1 и анод 2, а также токопроводящие к ним шины 3. Катод 1 находится в диэлектрической кювете 4 и его поверхность покрыта слоем углеводородного сырья 5 толщиной 1-4 мм. На катод 1 и анод 2 подают электрическое напряжение, достаточное для пробоя межэлектродного промежутка. Разложение сырья 5 осуществляют в высоковольтном сильнонеравновесном электрическом разряде при давлении 20-50 Торр. Изобретение обеспечивает увеличение скорости получения целевого продукта из отходов нефтепереработки. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.
