Патенты автора Махиборода Максим Александрович (RU)
СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МЭМС УСТРОЙСТВ // 2789668
Изобретение относится к способам герметизации МЭМС устройств. Способ заключается в том, что производят формирование канавок в основании, применение технологии временного бондинга с процессом утонения, заполнение канавок методом атомно-слоевого осаждения материала, при этом вывод соединяющих шин из рабочей области герметизации осуществляют через обратную сторону основания, формирование в основании углубления и рабочей полости производится за счет одного фотошаблона и одного плазмохимического травления, формирование на крышке выступов и области геттера, при этом выступы крышки и углубления основания имеют цилиндрическую форму, одинаковый диаметр и высоту. Технический результат - улучшение герметизации конечного МЭМС устройства. 10 ил.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов интегральных схем (ИС) и дискретных полупроводниковых приборов, представляющих собой тонкую пластину. Способ временного бондинга пластин для формирования тонких пластин включает нанесение адгезионного слоя на рабочую пластину, нанесение антиадгезионного слоя на пластину-носитель, термокомпрессионное соединение двух пластин, шлифовку или полировку обрабатываемой поверхности рабочей пластины, механическое разъединение рабочей пластины и пластины-носителя, очистку поверхности рабочей пластины органическим растворителем, при этом процесс сушки адгезионного и антиадгезионного слоя выполняют в процессе соединения двух пластин, максимальная температура нагрева пластин не может быть менее температуры перехода адгезионного и антиадгезионного слоев в твердое состояние, и выбирается в зависимости от температурного коэффициента линейного расширения материалов по предложенному соотношению. 5 ил., 1 пр.
Изобретение относится к рентгеновской технике. Технический результат - повышение интенсивности рентгеновского излучения, увеличение продолжительности срока эксплуатации прибора, расширение перечня излучаемых длин волн, обеспечение возможности выбора количества длин волн и формы рентгеновского излучения. Используют матрицу катодов, сфокусированную на локальной части мишени анода, состоящей из n видов материалов, катоды имеют m разных радиусов кривизны острия. Это обеспечивает возможность выборочной подачи напряжения на отдельный катод из матрицы катодов по результатам расчета количества генерируемых длин волн L рентгеновского источника по формуле L=n×m, причем количество генерируемых длин волн L должно быть не менее количества слоев исследуемой структуры. 2 н.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, являющихся элементной базой функциональной микроэлектроники, и может быть использовано в технологии изготовления интегральных чувствительных элементов газовых датчиков с диэлектрическими мембранами. Задачей изобретения является повышение выхода годных кристаллов и увеличения рентабельности изделия за счет увеличения механической прочности структуры в целом благодаря освобождению мембраны одной операцией травления подложки в конце технологического маршрута и за счет уменьшения механических напряжений в мембране благодаря использованию чередующихся слоев. 7 ил.
РЕНТГЕНОВСКИЙ ИСТОЧНИК // 2617840
Изобретение относится к рентгеновскому источнику. В заявленном устройстве массивный анод содержит множество сквозных каналов, фокусирующих рентгеновское излучения заданным образом за счет сочетания их направленностей, а также за счет того, что стенки каналов могут содержать материал мишени не по всей длине. Окно источника прилегает к поверхности закрепленного на корпусе анода и не испытывает опасных нагрузок даже при большой площади окна, что снижает требования к материалу окна, которое может быть выполнено достаточно тонким для пропускания рентгеновского излучения. Анод предложенного источника за счет существенной толщины способен отводить к торцам, снабженным средствами теплоотвода, большие потоки тепла. Техническим результатом является увеличение мощности рентгеновского источника. 9 з.п. ф-лы, 3 ил.
ИСТОЧНИК РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ // 2586621
Изобретение относится к области рентгеновской техники. Источник рентгеновского излучения содержит автокатод, рабочей областью которого является кромка круглого отверстия в проводящем слое, а антикатод (анод) выполнен симметричным относительно оси отверстия автокатода в виде фигуры вращения и имеет радиус меньше радиуса этого отверстия. Предложены варианты точечного и матричного интегрального исполнений. Технический результат - увеличение поверхностной излучаемой мощности рентгеновского излучения и срока службы источника. 6 з.п. ф-лы, 2 ил.
МОТОРНОЕ МАСЛО // 2561731
Настоящее изобретение относится к моторному маслу, содержащему в качестве присадки 1,3-ди-(пиперидинометилен)-2-тион-имидазолидин со структурной формулой I, в концентрации от 0,5 мас. % до 0,75 мас. %. Техническим результатом настоящего изобретения является повышение противоизносно-противозадирной эффективности моторного масла. 1 табл.
I
АНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК // 2522760
Изобретение относится к области микросенсоров, а именно к микроэлектромеханическим системам (МЭМС) для измерения потоков жидкостей и газов - МЭМС-термоанемометрам. Анемометрический датчик содержит чувствительный элемент, выполненный в виде двух и более открытых контролируемому потоку упругих лепестков. Сам чувствительный элемент с электрическими контактами к нему выполнен из пьезоэлектрического материала и выполняет функцию датчика колебаний. Также упругие лепестки имеют разные длины. К чувствительному элементу каждого лепестка соответствующей определенной длины подводится отдельный контакт. Каждой длине соответствует свой динамический диапазон измерения потока и в зависимости от силы потока функционируют определенные лепестки: более длинные регистрируют малые потоки, более короткие - большие за счет разных частот собственных колебаний. Техническим результатом является создание простого в изготовлении анемометрического датчика с низким расходом энергии и малыми размерами, способного определять наличие потока. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
