Патенты автора Нигаард Рой Роевич (RU)
Изобретение может быть использовано при изготовлении качественных тонких покрытий, в частности оксидных. Система для химического осаждения из паров летучих прекурсоров содержит реакционную камеру 1 в виде вертикально ориентированного цилиндра, карусельный подложкодержатель 2, модуль подачи реакционных газов и модуль подачи ионизированных газов, предназначенный для очистки и активации поверхности подложек, нагреватель и средства вакуумной откачки. Модуль подачи реакционных газов включает газораспределяющее устройство 3, выполненное в виде душевой насадки, сообщённой с линиями 4 и 5, предназначенными, соответственно, для подачи реакционных газов и окисителя. Душевая насадка установлена с возможностью перемещения вдоль вертикальной оси реакционной камеры 1 при помощи, по меньшей мере, одного линейного актуатора 6, пластины 7 и сильфона 8. Карусельный подложкодержатель 2 выполнен в виде вращающихся вокруг собственной оси дискового основания 9 и размещённых на его поверхности дисковых платформ 10, в которых выполнены углубления для установки подложек. Модуль подачи ионизированных газов включает сопряжённый с реакционной камерой 1 и отделённый от нее герметичным люком 15 герметичный отсек 12, внутри которого установлен ионный источник 13 со средствами подвода ионизируемых газов, выполненный с возможностью перемещения в рабочее пространство реакционной камеры 1 по рельсам 17 и предназначенный для предварительной очистки и/или активации поверхности подложек. Нагреватель представляет собой термокабель, подведённый к подложкодержателю и размещённый в канавках, выполненных в дисковых платформах 10. Повышается производительность системы, обеспечивается получение качественных равномерных покрытий. 6 з.п. ф-лы, 3 ил.
Заявленное изобретение относится к области получения тонкопленочных материалов методом химического газофазного осаждения. Питатель содержит контейнер для раствора прекурсора, вакуумируемую камеру с зонами сушки и сублимации, средство для перемещения раствора прекурсора через вакуумируемую камеру из контейнера для раствора прекурсора в зону сушки и сублимации вакуумируемой камеры. Согласно изобретению контейнер для раствора прекурсора размещен вне вакуумируемой камеры. Средство для перемещения раствора прекурсора выполнено в виде нити из материала, способного к впитыванию раствора прекурсора. Упомянутая нить размещена одним концом намотанной на первую катушку, расположенную перед контейнером для раствора прекурсора, а вторым концом намотанной на вторую катушку, расположенную в вакуумируемой камере после нагревательных элементов камеры сублимации. Техническим результатом изобретения является равномерная подача прекурсора с низкой скоростью, возможность варьирования скорости подачи прекурсора. 7 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 пр.
Настоящее изобретение относится к консервационному составу, содержащему, масс.% 2,6-ди-трет-бутил-4-метилфенол - 0,8-1,0; сукцинированный низкомолекулярный полимер, аминированный алкенилянтарным ангидридом - 3,0-3,2; герметизирующая жидкость - 4,5-5,5; высокомолекулярный полиизобутилен с молекулярной массой 18-20·104 - 0,3-0,4; продукт конденсации олеиновой кислоты с диаминами и борной кислотой, модифицированный натрием - 5,0-6,0; смесь нефтяных масел, имеющая кинематическую вязкость при 100°C 15,5-21,0 сСт и температуру застывания не выше минус 25°C - до 100. Техническим результатом настоящего изобретения является создание консервационного состава для защиты от коррозии черных и цветных металлов, обладающего повышенной способностью вытеснять воду и агрессивный электролит с поверхности металла, а также повышенными защитными свойствами по отношению к цветным металлам. 2 табл., 1 пр.
