Патенты автора Хофер Фердинанд (AT)
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА // 2572522
Изобретение относится к сканирующим зондовым микроскопам, адаптированным для измерения поверхности образца, полученной после механической модификации этой поверхности. Микроскоп содержит основание (1), сканирующее устройство (33), установленное на механизме (6) перемещения образца (40), образец (40), закрепленный на сканирующем устройстве (33), первый зажим (27) с зондом (28), адаптированным для зондирования образца (6), блок управления, адаптированный для управления сканирующим устройством (33) и зондом (28), и платформу (18) с первой и второй направляющими, на которых установлена подвижная каретка (26). На основании установлены пуансон (2) с первым приводом (4) и механизм (6) перемещения образца (40) со вторым приводом (7). Платформа (18) закреплена на механизме (6) перемещения образца (40). Первый зажим (27) с зондом (28) установлены на подвижной каретке (26). Технический результат - снижение погрешности измерения поверхности образца. 10 з.п. ф-лы, 12 ил.
