Патенты автора Лютова Екатерина Сергеевна (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ КРЕМНИЯ, ФОСФОРА, КАЛЬЦИЯ И МАГНИЯ // 2719580
Изобретение относится к технологии получения тонкопленочных покрытий, применяемых в различных областях техники, в том числе в качестве биоактивного материала. Способ получения тонкопленочных материалов на основе сложных оксидных систем включает приготовление пленкообразующего раствора на основе 96 мас.% этилового спирта, нитрата кальция и нитрата магния, тетраэтоксисилана, ортофосфорной кислоты с последующим нанесением на подложку методом центрифугирования со скоростью вращения центрифуги 3000 об/мин и ступенчатой термообработкой при 60°С в течение 30 мин, 800°С в течение 1 часа, при этом приготовление пленкообразующего раствора осуществляют в следующем порядке: рассчитывают суммарное массовое содержание добавок и количество 96%-ного этилового спирта, необходимого для получения требуемого пленкообразующего раствора, в расчетном количестве этилового спирта растворяют последовательно а) нитрат кальция в количестве 2,0–5,1 мас.%, б) нитрат магния в количестве 1,2–4,6 мас.%, в) тетраэтоксисилан в количестве 4,6 мас.%, после чего добавляют ортофосфорную кислоту в количестве 0,32 мас.%. Изобретение обеспечивает снижение времени получения тонкопленочного материала и удаление примесных ионов из пленки. 2 пр.
Изобретение относится к технологии получения тонкопленочных материалов на основе сложных оксидных систем, применяемых в быстро развивающихся областях электронной техники и светотехнической промышленности, строительной индустрии, в качестве декоративных, фильтрующих и перераспределяющих излучение покрытий, биоактивных материалов. Способ получения тонкопленочного покрытия на основе сложных оксидных систем включает приготовление пленкообразующего раствора в присутствии добавки с дальнейшим нанесением этого раствора на поверхность кремниевой подложки и термообработку. Термообработку проводят в атмосфере воздуха при 800°С в течение одного часа, в качестве добавки используют фосфорную кислоту, хлорид кальция и нитрат магния. Изобретение обеспечивает снижение времени получения тонкопленочного нанопористого покрытия. 2 пр.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ // 2599294
Изобретение относится к тонкопленочным стеклокерамическим покрытиям, широко применяемым в материаловедении и медицинском материаловедении. Способ получения тонкопленочного покрытия на основе SiO 2-TiO2-P2O5-CaO включает приготовление пленкообразующего раствора (ПОР) с дальнейшим нанесением этого раствора на поверхность кремниевой подложки и ступенчатую термообработку. Предварительно готовят два пленкообразующих раствора, сливают их вместе с дальнейшим нанесением на подложку при ступенчатой термообработке при температуре 80°C в течение 20 мин с последующим стабилизационным отжигом при температуре 600°C в течение 1 ч. Для первого ПОР компоненты используют при следующем соотношении, мас.%: тетрабутоксититан - 0,4-1,0; бутиловый спирт - остальное. Для второго ПОР компоненты используют при следующем соотношении, мас.%: тетраэтоксисилан - 4,6; хлорид кальция - 2,8-3,4; ортофосфорная кислота - 0,5; этиловый спирт - остальное. Технический результат - получение стабильного по времени покрытия с высоким показателем преломления и толщиной менее 100 нм. 2 з.п. ф-лы, 3 пр.
