Патенты автора Мухаммедзянов Тимур Равильевич (RU)
ИОННЫЙ ИСТОЧНИК // 2630426
Изобретение относится к газоразрядным электронным приборам с ионным пучком и может использоваться при обработке материалов, в частности при ионной полировке оптических деталей до дифракционного качества поверхности. Ионный источник содержит магнитную систему под потенциалом катода с кольцевым зазором между внутренним и внешним полюсами системы, постоянный магнит в качестве источника магнитодвижущей силы, анод, установленный симметрично кольцевому зазору, систему подачи рабочего газа со стороны анода. Кольцевой зазор выполнен в виде конусообразной щели. Перед внутренним полюсом установлен дополнительный полюс в виде диска диаметром меньшим внутреннего конусного раскрытия кольцевого зазора, а внешний и внутренний полюса выполнены в виде конуса, ориентированного своим основанием в сторону дополнительного полюса. В пространстве между внутренним конусным раскрытием кольцевого зазора и дополнительным полюсом установлена кольцевая вставка из немагнитного материала. Технический результат - создание ионного источника со сходящимся пучком ионов для ионной полировки оптических деталей и повышение ресурса его работы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
