Патенты автора ЛЯРШЕ Жан-Эрик (FR)
Группа изобретений относится к вакуумной технике. Система (SP) откачки для создания вакуума содержит главный вакуумный насос, который является кулачковым насосом (3), содержащим всасывающий вход (2) газов, соединенный с вакуумной камерой (1), и выход (4) для выдува газов, сообщающийся с каналом (5) удаления газов в направлении выхода (8) для выпуска газов из системы откачки. Система откачки дополнительно содержит обратный клапан (6), расположенный между выходом (4) и выходом (8), и вспомогательный вакуумный насос (7), установленный параллельно с клапаном (6). Насос (7) выполнен с возможностью пуска в то же время, что и насос (3), и с возможностью производить откачку в течение всего периода откачки насосом (3) газов, содержащихся в камере (1), и в течение всего периода поддержания насосом (3) заданного давления в камере (1). Группа изобретений направлена на обеспечение получения более высокого вакуума, чем вакуум, получаемый в вакуумной камере при использовании только одного кулачкового насоса. 2 н. и 20 з.п. ф-лы, 2 ил.
НАСОСНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ СОЗДАНИЯ ВАКУУМА И СПОСОБ ОТКАЧИВАНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДАННОЙ НАСОСНОЙ СИСТЕМЫ // 2670640
Группа изобретений относится к области вакуумной техники. Насосная система (SP), предназначенная для создания вакуума, включает основной безмасляный винтовой насос (3), в котором имеется заборный впуск (2) для газа, соединенный с вакуумной камерой (1), и выпуск (4) для выдува газа, выходящий в канал (5) отведения газа в направлении выпуска (8) для выхода газа из насосной системы. Система (SP) включает невозвратный клапан (6), расположенный между выпусками (4, 8), и вспомогательный вакуумный насос (7), подсоединенный параллельно с клапаном (6). Насос (3) приводится в действие с целью откачивания газа, находящегося в камере (1), и выдува этого газа через выпуск (4), одновременно приводится в действие насос (7). Насос (7) продолжает работать все время, в течение которого насос (3) откачивает газ из камеры (1), и/или все время, в течение которого насос (3) поддерживает определенное давление в камере (1). Группа изобретений направлена на обеспечение возможности получения высокого вакуума и большой скорости откачки при низком давлении, чем может быть получено при помощи одного вакуумного безмасляного винтового насоса, а также направлено на уменьшение количества электроэнергии, необходимого для создания и поддержания вакуума в вакуумной камере и на снижение температуры выходящего газа. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 2 ил.
Группа изобретений относится к способу откачки в насосной системе и системе вакуумных насосов. Способ откачки в насосной системе, содержащей первичный вакуумный насос (3) со смазываемыми лопастями, имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов насосной системы, обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) и выходом (8) газов, и эжектор (7), установленный параллельно с клапаном (6). Запускают насос (3) для откачки газов, содержащихся в камере (1), через отверстие (4), одновременно подают рабочую текучую среду в эжектор (7), которую продолжают подавать в эжектор (7) в течение всего времени, пока насос (3) откачивает газы, содержащиеся в камере (1), и/или в течение всего времени, пока насос (3) поддерживает определенное давление в камере (1). Группа изобретений направлена на уменьшение электрической энергии, необходимой для получения разрежения в вакуумной камере, и поддержания разрежения в этой камере для обеспечения снижения температуры выходных газов. 2 н. и 32 з.п. ф-лы, 3 ил.
Группа изобретений относится к способу откачки в системе вакуумных насосов и системе ваккумных насосов. Система вакуумных насосов содержит первичный сухой винтовой вакуумный насос (3), имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы, обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) и выходом (8), и эжектор (7), установленный параллельно с клапаном (6), компрессор, приводимый во вращение по меньшей мере одним из валов насоса (3). Насос (3) запускают для откачки газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через отверстие (4). Одновременно подают рабочую текучую среду в эжектор (7) компрессором. Эжектор (7) продолжает получать питание рабочей текучей средой в течение всего времени, пока функционирует насос (3) и откачивает газы, содержащиеся в камере (1). Группа изобретений направлена на улучшение конечного разрежения и увеличения расхода. 2 н. и 20 з.п. ф-лы, 2 ил.
