FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Махоткин Александр Васильевич (UA)
ФОКУСИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРА
// 2277137
Изобретение относится к электронно-лучевому испарению и осаждению (конденсации) материалов, в частности к осаждению в условиях низкого вакуума