Патенты автора Сейдман Лев Александрович (RU)
Изобретение относится к способу реактивного магнетронного нанесения наноразмерного слоя оксида на подложку, в качестве которой используют рулонную полимерную пленку, и может быть использовано для создания многослойных высокобарьерных относительно проникновения газов и паров полимерных пленок. Осуществляют предварительное обезгаживание и очистку рулонной пленки в смеси инертного газа и азота при перемещении ее относительно плазмы магнетронного разряда в вакуумной камере. Нанесение оксида проводят в камере, по крайней мере, с одной парой магнетронов в биполярном пакетно-импульсном режиме их электропитания при стабилизированном напряжении и токе, предельном для источника электропитания. 2 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.
Изобретение относится к области изделий интегральной электроники, работающих на частотах свыше 100 МГц, в частности к области изготовления СВЧ гибридных интегральных схем (ГИС), содержащих хотя бы один из элементов: полосковые линии, двухпроводные линии, тонкопленочные электроды либо резонаторы, фильтры, выполненные на основе двухпроводных или полосковых линий
