Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к изготовлению дифракционных оптических элементов (ДОЭ), преимущественно голографических дифракционных решеток, и может быть использовано для контроля параметров микрорельефа ДОЭ непосредственно в процессе их изготовления