Патенты автора Рубчиц Вадим Григорьевич (RU)

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГЛУБОКОПРОФИЛИРОВАННЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР // 2539767

Изобретение относится к изготовлению конструктивных элементов микромеханических приборов на кремниевых монокристаллических подложках. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества структур. Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур включает нанесение защитной пленки на плоскую пластину из монокристаллического кремния с ориентацией поверхности в плоскости (100), нанесение на нее с двух сторон защитного слоя фоторезиста, проведение одно-двухсторонней фотолитографии, вскрытие окон в защитной пленке, повторное нанесение защитной пленки, проведение одно-двухсторонней фотолитографии, вскрытие окон меньшего размера до поверхности пластины, проведение анизотропного травления в образовавшемся окне, стравливание защитной пленки и проведение анизотропного травления. Представлены альтернативные способы изготовления глубокопрофилированных структур. 5 ил.

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА // 2492490

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА // 2423668

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА // 2379693

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных акселерометров

СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ РАСТРАВА ВНЕШНИХ УГЛОВ ФИГУР ТРАВЛЕНИЯ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ С ОРИЕНТАЦИЕЙ ПОВЕРХНОСТИ (100) // 2331137

Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЖЕСТКОСТИ УПРУГОГО ПОДВЕСА ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА // 2324917

Изобретение относится к измерительной технике

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА В МИКРОМЕХАНИЧЕСКОМ ДАТЧИКЕ // 2324894

Изобретение относится к измерительной технике

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА // 2296390

Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов

ИНТЕГРИРУЮЩИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ВИБРАЦИОННЫЙ ГИРОСКОП // 2296300

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения