Патенты автора Гаврилов Александр Александрович (RU)
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах. Для измерения углового ускорения используется инерционная масса, на которую устанавливаются катушки датчика момента обратной связи и втулка с двумя регулировочными винтами, что позволяет увеличить ударопрочность, расширить частотный диапазон измерения углового ускорения. 1 ил.
Изобретение относится к приборостроению, конкретно к способам изготовления кремниевых чувствительных элементов микромеханических гироскопов и акселерометров. Технический результат заявленного изобретения заключается в повышении точности микромеханических гироскопов и акселерометров. Технический результат достигается за счет создания способа изготовления глубопрофилированных структур в кремниевой пластине, в котором после формирования методом литографии маски для травления с одной стороны подложки «сухое» травление через маску осуществляют на глубину 90-95% толщины пластины, затем удаляют маску, формируют сплошной слой оксида кремния на вытравливаемой стороне пластины, после чего осуществляют анизотропное травление с обратной стороны пластины на глубину 15-20% толщины и удаляют слой оксида кремния. 5 ил.
Способ соединения кремниевых пластин // 2680263
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в микроэлектромеханических системах при производстве интегральных датчиков. Технический результат заявленного изобретения заключается в повышении точности и надежности интегральных датчиков. Технический результат достигается за счет способа соединения кремниевых пластин, характеризующегося тем, что на первой и второй соединяемых пластинах намечают точки соединения, в точках соединения в первой соединяемой пластине вытравливают сквозные отверстия, во второй соединяемой пластине формируют выступы, размеры которых равны размерам сквозных отверстий на первой соединяемой пластине, затем первую и вторую соединяемые пластины соединяют с совмещением сквозных отверстий и выступов, после чего сжимают с давлением 2 кПа и производят соединение путем применения лазерной сварки кремния в среде азота в местах соединения граней сквозных отверстий и выступов. 1 ил.
СПОСОБ ВОССТАНОВЛЕНИЯ СТРОИТЕЛЬНОГО ПОДЪЕМА ПРОЛЕТНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ БАЛОК КОРОБЧАТОГО СЕЧЕНИЯ // 2676781
Изобретение относится к области строительства, а именно к способу восстановления пролетных балок коробчатого сечения мостовых кранов. Техническим результатом изобретения является повышение несущей способности. Способ восстановления металлических балок заключается в том, что разрезают вертикальные листы и верхний пояс балки коробчатого сечения. Затем разрезанную металлическую балку выгибают выше проектного уровня и расклинивают двумя вставками, после чего возвращают пролетную металлическую балку в проектное положение. Восстанавливают верхний пояс пролетной металлической балки и на нижний пояс пролетной металлической балки устанавливают усиливающую накладку в местах разрезов вертикальных листов. Вставки выполняют из листового металла с толщиной равной толщине вертикальных листов в виде равнобедренных трапеций. Приведены геометрические характеристики вставок. 5 ил.
Способ соединения кремниевых пластин // 2635822
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в микроэлектромеханических системах при производстве интегральных датчиков первичных параметров. Задачей, на решение которой направлено заявленное изобретение, является обеспечение стабильности размеров и зазоров в процессе соединения кремниевых пластин. Способ соединения кремниевых пластин заключается в том, что на соединяемых пластинах намечают точки соединения, в которых выполняют контактные площадки, контактные площадки в точках соединения намечают реперными знаками, при этом согласно изобретению в точках соединения в пластинах вытравливают пирамидальные сквозные отверстия с внутренними стенками под углом 54,4°, вокруг пирамидальных отверстий в соединяемых пластинах выполняют разгрузочные канавки на глубину порядка 10-20 мкм, соединяемые пластины совмещают по реперным знакам и сжимают с силой до 10 Н, каналы пирамидальных отверстий направляют расширяющимися частями в противоположные стороны, после чего каналы заполняют силикатным клеем и просушивают при температуре 70-80°С. Изобретение обеспечивает повышение точности интегральных датчиков. 1 ил.
ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ // 2580637
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в МЭМС акселерометрах и гироскопах. Емкостный датчик перемещений содержит широтно-импульсный модулятор, подвижный электрод и выполненные на изоляционных обкладках неподвижные электроды, размещенные симметрично относительно подвижного электрода с одинаковыми зазорами, каждый неподвижный электрод разделен пополам, а одинаковые части, размещенные с разных сторон подвижного электрода на одинаковом расстоянии от оси качания, соединены между собой перекрестно и составляют два дифференциально включенных измерительных конденсатора, которые при равных зазорах имеют одинаковую емкость, при этом неподвижные электроды, находящиеся на одной изоляционной обкладке, разделены асимметрично относительно оси качания и перекрывают всю площадь подвижного электрода, а ответные неподвижные электроды выполнены симметрично относительно плоскости подвижного электрода. Технический результат - повышение чувствительности и точности преобразователя перемещений. 3 ил.
МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ // 2528116
Изобретение относится к измерительным устройствам и может быть использовано в интегральных линейных и угловых акселерометрах и гироскопах в качестве датчика перемещений. Технический результат: повышение точности нулевого сигнала преобразователя перемещений. Сущность: магниторезистивный датчик содержит пластину проводящего монокремния, в которой с помощью анизотропного травления выполнен подвижный объект. На разных сторонах конца подвижного объекта размещены дискретные источники магнитного поля, которые расположены напротив четырехслойных магниторезистивных структур, размещенных на разных сторонах пластины проводящего монокремния. Четырехслойные магниторезистивные структуры состоят из первого свободного ферромагнитного слоя, второго проводящего немагнитного слоя, третьего зафиксированного ферромагнитного слоя и четвертого антиферромагнитного слоя. Два свободных и два зафиксированных ферромагнитых слоя соединены в четырехплечий мост. 4 ил.
Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например, чувствительных элементов интегральных датчиков
Изобретение относится к устройствам для разделения частиц в смесях по размеру и измельчения целых зерен и крупных частиц до проходового размера при дроблении зернового сырья комбикормов и других продуктов
ПАРОЖИДКОСТНЫЙ СТРУЙНЫЙ АППАРАТ // 2387885
Изобретение относится к области струйной техники, преимущественно к парожидкостным струйным аппаратам, используемым в системах отопления и подачи горячей воды
ФОРСУНКА ДЛЯ РАСПЫЛИВАНИЯ ЖИДКОСТЕЙ // 2364789
Изобретение относится к технике распыливания жидкостей, в том числе вязких и содержащих абразивные включения, и может использоваться в различных направлениях производственной деятельности, в частности в различных топливосжигающих агрегатах
