Патенты автора Ханин Андрей Андреевич (RU)
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ // 2465561
Изобретение относится к емкостным датчикам давления газов и жидкостей, в частности микроэлектромеханическим, которые используются для контроля давления в устройствах промышленной автоматики, в гидросистемах
