Патенты принадлежащие ООО "Русский кремний" (RU)

Изобретение относится к химическим технологиям получения диоксида кремния из отходов, а именно к способам получения пирогенного диоксида кремния методом пламенного гидролиза газообразных или испаряемых соединений кремния и устройствам для их осуществления.
Изобретение относится к технологии получения хлоридов кремния, а именно к способам получения высокочистого трихлорсилана (ТХС) и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. .
Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов. .
Изобретение относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов. .
Наверх