Патенты принадлежащие Закрытое акционерное общество "Ферри Ватт" (RU)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНИ И/ИЛИ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА И СПОСОБ ЕГО ПРИМЕНЕНИЯ // 2510735
Изобретение относится к области обработки поверхности объекта. Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта содержит кольцевой источник ионов, формирующий ионный пучок, распространяющийся в промежутке между двумя условными вложенными друг в друга сходящимися - в направлении от источника ионов к держателю объекта (мишени) - коническими поверхностями, образующие которых составляют с общей осью конусов разные углы и общее основание которых совпадает с окружностью, ограниченной круговой выходной щелью кольцевого источника ионов.
РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ ПЛОСКОГО МАГНЕТРОНА // 2500834
Изобретение относится к области магнетронного распыления материалов. Узел магнетронного распыления содержит распыляемую мишень и по меньшей мере одну плоскую магнитную систему.
