Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью ООО "ФИНЭКО Софт" (RU)
Изобретение относится к способу реактивного магнетронного нанесения наноразмерного слоя оксида на подложку, в качестве которой используют рулонную полимерную пленку, и может быть использовано для создания многослойных высокобарьерных относительно проникновения газов и паров полимерных пленок.
