Содержащие один или несколько атомов галогена (C01B21/083)
C01B21/083 Содержащие один или несколько атомов галогена(17)
Изобретение может быть использовано при получении трифторида азота NF3, применяемого в производстве жидкокристаллических дисплеев, микропроцессоров. Способ очистки трифторида азота от тетрафторида углерода CF4 включает фракционную конденсацию трифторида азота и последовательность циклов установления равновесия в криостате при температуре равновесного давления тетрафторида углерода, превышающего парциальное давление тетрафторида углерода в рабочей смеси.
Изобретение относится к способу очистки трифторида азота от инертных примесей и тетрафторида углерода адсорбционным способом. .
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота, который может быть использован в качестве источника фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем в электронной промышленности.
Изобретение относится к способам разделения смесей, получаемых при синтезе трифторида азота и содержащих тетрафторметан, трифторид азота, азот и другие газообразные вещества. .
Изобретение относится к технологии выделения компонентов газовых смесей ректификацией. .
Изобретение относится к неорганической химии, к способам получения трифторида азота. .
Изобретение относится к неорганической химии, а именно - к получению трифторида азота NF3. .
Изобретение относится к области получения неорганических фторидов, а именно к способу получения трифторида азота (ТФА), который применяется в химической промышленности как фторирующий агент и как фторсодержащее сырье.
Изобретение относится к разделению смесей фторсодержащих продуктов, в частности смесей, содержащих тетрафторметан и трифторид азота. .
Изобретение относится к способу получения трифторида азота (NF3), заключающемуся в прямом взаимодействии газообразного фтора (F2) с газообразным аммиаком (NH3) в газовой фазе.
Изобретение относится к способу очистки газообразного трифторида азота от примеси CF4. .
Изобретение относится к выделению и очистке перфторированных продуктов из исходной смеси, содержащей множество соединений за счет использования процессов азеотропной и экстракционной перегонки с получением продуктов высокой чистоты.
Изобретение относится к новому способу получения трифторида азота, который находит широкое применение в технологиях полупроводниковых материалов, высокоэнергетических лазеров и химического газофазного осаждения.
Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к способам получения трифторида азота. .
Изобретение относится к способам получения трифторида азота. .
Изобретение относится к неорганической химии, к области получения фторидов азота, а именно к получению трифторида азота NF3, тетрафторгидразина N2F4, дифтордиазина N2F2, дифтордиамина NF2H.