Зонды с туннельным эффектом (G12B21/04)

G12 Конструктивные элементы приборов(650)

G12B Конструктивные элементы приборов, не отнесенные к другим подклассам(649)

G12B21 Конструктивные элементы устройств, использующих метод сканирующего зонда(45)

G12B21/04 Зонды с туннельным эффектом(1)

Туннельный наносенсор механических колебаний и способ его изготовления // 2362221

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании сенсоров, функционирующих на основе туннельного эффекта, обеспечивающих преобразование «перемещение-электрический сигнал», в информационных системах мониторинга для прогнозирования, диагностики и контроля воздействий ударных волн и акустических колебаний на различные конструкции, транспортные средства, промышленные здания и сооружения, температуры, для создания сверхчувствительных микрофонов и диагностического медицинского оборудования.