Предварительная обработка селена или теллура, наложение их на пластину основания и последующая обработка этой комбинации (H01L21/10)

H01 Основные элементы электрического оборудования(70435)

H01L21/10 Предварительная обработка селена или теллура, наложение их на пластину основания и последующая обработка этой комбинации(12)

Способ получения диэлектрического слоя на основе полимерного покрытия в изделиях микроэлектроники // 2692373

Заявленное изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к способам получения диэлектрического слоя межслойной изоляции определенной толщины в изделиях микроэлектроники на основе полимерного покрытия.