Состоящих из оксидов, стекловидных оксидов или на основе оксидов стекла (H01L21/473)

H01L21/473              Состоящих из оксидов, стекловидных оксидов или на основе оксидов стекла(4)

Способ получения пористого слоя оксида алюминия на изолирующей подложке // 2489768
Изобретение относится к области получения структур, используемых, например, для изготовления полевых транзисторов и элементов памяти, необходимых для применения в микроэлектронике, системотехнике. .
 
.
Наверх