Диафрагмы и экраны, связанные с электронно- или ионно-оптическими устройствами и компенсация возмущающих полей (H01J37/09)
H Электричество(232322)
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H)
(10498)
H01J37 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J33,H01J40,H01J41,H01J47,H01J49 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B21)
(805)
H01J37/09 Диафрагмы; экраны, связанные с электронно- или ионно-оптическими устройствами; компенсация возмущающих полей(1)
Изобретение относится к методам физических исследований и может быть использовано в электронной (ионной) оптике для экспериментального измерения, анализа и оптимизации характеристик разнообразных электронно(ионно)-оптических систем (ЭОС и ИОС), предназначенных для сбора, фокусировки, формирования, отклонения, транспортирования, а также энерго-и масс-анализа пучков заряженных частиц, в учебных целях для проведения лабораторных работ по курсу "Электронная и ионная оптика".
