Способ обработки кварца травлением

 

N 102481

Класс 21а4 10

СССР

:>.(4 >>

,< а4 .. < 1

ОПИСАНИЕ MSOBPETEHMЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

П. Г. Поздняков и С. П. Покровская

СПОСОБ ОБРАБОТКИ КВАРЦА ТРАВЛЕНИЕЫ

Заявлено 19 апреля 1954 г ва (Л-22<,"; 451591 в )Д)инистерст и радиотехнической промышленности СССР

Предмет изобретения

При и;31 )lîâëåíèè пьезокварцевых изделий номогцью трав;п)ния можно выявить 11(, г>дно))одность к13арцевых крист<1ллов (двойники. (:вили и проч. деФекты). повысить прочность, цепленпя с нанесенным металлическим слоем. повысить стабильность ч<зстOTI>I II.I<)ñòIIí во времени и производить предварптельнт ю подг() Hh) частоты кварцевых пластин.

Ооычно травление кргп галлов 1;13<1; цл и ква():1(,вь1х плас гпн lц)низводят в плавиковой кислоте, которая обладает весьма сн.((ными токсическими свойствамя.

Поэт(му применение ее в кварцевом производстве крайне нежелательно.

В 1(редлагаемом способе в качестве тр,кварц) Il((I ) II>;3)III «О—

40",,)-ный раствор двухФтористого калия, нагретого до температуры 60 — 00 .

Предлагаемый травитель является менее опасным IIO своей токсичности и в

ТО же время обеспечивает хорони е ".ачество травления.

Спосоо обработки кварца трагл(ь н(,и, Отличаюгцпйся тем, что. с целью ум(ньшения вредных выделений прн травлении, I: качестве травителя приме1(я(от водный 30 — 40 О/о -ный раствор дг(ухФтористого калия, нагретый до т(и.*:(ратуры 60 — 00 .

Способ обработки кварца травлением 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров
Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано на предварительных этапах обработки кварцевых пластин при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных фильтров
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве монолитных пьезоэлектрических фильтров и резонаторов

Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов с выпуклым профилем, близким к линзообразному, для резонаторов и монолитных фильтров

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано для изготовления высокочастотных резонаторов и монолитных фильтров
Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при изготовлении высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров

Изобретение относится к электротехнике, к технологии изготовления пьезоэлектрических резонаторов и может быть использовано при изготовлении микрорезонаторов крутильных колебаний, применяющихся в различных радиоэлектронных устройствах и бытовой электронике
Изобретение относится к пьезотехнике и может быть использовано для изготовления высокочастотных кварцевых резонаторов

Изобретение относится к области электротехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано для изготовления кристаллических элементов (КЭ) высокочастотных резонаторов, включая и прецизионные

Изобретение относится к области радиотехники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов, используемых в высокостабильных кварцевых генераторах, применяемых в связной аппаратуре и навигационной аппаратуре
Наверх