Способ образования отверстий в металлической фольге с применением химического травления

Авторы патента:

Рабодзей Н.В.

Юхвидин Я.А.

C23F1/04 - глубокое (химическое фрезование)

X. 107754 ласс 1ое 12

ОПИСАНИЕ И З О Б Р Е Е Н 1! 1=!

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Я. А. Юхвидин и Н, В. Рабодзей

СПОСОБ ОБРАЗОВАНИЯ 0!ВЕРСТ ИЙ В

МЕТАЛЛИЧЕСКИ(ОЙ ФОЛЬГЕ С П! ИМЕНЕННЕ1Ч

ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ.)а(!(((е((о Я сент«5«ря 1956 г. за . !) 557318

1«())(((т(т iio T(1«««(: 30(«B ;е ".(i. :. i 0 !«j;L ((:.:! ) . o .LTp.. «1. !!!(!«тр(!з СССР

VlI\CCТР «l11Il C С) li)CO(11)l 0(OI) B30BBIIII5f отпер ти:,f мета,!лпческой фо 1ьге весьма кропотл !вы, не lloзв !л5!!От получит() о гвсрстпй пра1«шлыюй формы и требуемых размеров.

Пре friB ã;Iåì !,! é способ устра:1яет зти недостатки.

Осооенностью описываемого способа явл5!е гся предварителы!Ое деф01). «!ированпе фо,(ы ll посрс,!ствоз!

В,IBH IÈBBIØ51 П!!ДС!ГГОР;! КОН!!ЧЕСКО11 или и! рампдалы(ой формы. Это позволяет по.!, (Ilirü ОТР(рстия npaHIi I!)f loll rc0. ic. 1:(I1(:cc (o1I фор)мы.

Способ заклю гнется в следующем.

Мета. !лическую фольгу помещают

1fB плоское, тщательно отполированное основание !подложку), ИМЕЮЩСЕ ВОЗМОЖНО 00:1ЕЕ ВЫСОКУЮ, по сравнению с материалом фольги, твердость. Г> выбранном месте фольги rlo j,÷åIIcòâlicì фиксированной нагрузки (порядка сотен грамi!os) производится вдавливание тщательно отполированного алмазного ипдентора конической или пир ам ндал ь пой фор и,1. При этом ось индентора и направление действия нагрузки нормальны к плоскости фоль!л;. В резуль (атс) на фол ьге

ОСТа«,Т(и ОТПСЧатОК) ПРСДСта 13.1)!lo щнй, 00010 дсфо1змироваин„; lo со с,.:пенью дсформац!!и, убывающей or центра отпечатка к периферии.

При;имическом травлении фольги с отпечатком травление и дефор п1ров((ппой зоне идет быстрес в

1:а!!более сильно деформированной

ooласти вЂ” вершине отпечатка, и вместе (быванием степени;(сфор. !!!ц11:: скорость трав 12!fi!H pBlзном -p:1(1 умсньша ic5! к его периферии. Т!1к1:м образом, за счет порышеп!юй . скорости растворешгя наибо !ее с!!лы!о деформированных частей о. печатка получается сквоз!юе (тгвсрст!!е прав11лы1011 формы в его

BCP III II IIP.

Г> связи с тем, что скорость травления отпечатка значительно больше скорости травлеш!я педеформированного материала фольги, в течение времени вытравления отверстия 1Олщина фольги практически H(изменяется.

Пр достаточно хорошей форме верши! .„ . алмазного индентора и

I1ëî(-кости подлохкки размеры отпечатка и отверстия регулируются

¹ 107754

На прилагаемом чертеже показана зависимость величины отверстия от времени травления.

Предмет изобретения

ЗО б 0 gО

Время трабпеиия ат реп.

Отв. редактор И. В. Макаров

Стандартгиз !1одп. к печ. 17/Ы11-1957 г. Объем 0,125 и. л, Тираж 900. Цена 25 кои.

Гор. Алатырь, типография № 2 Министерства культуры Чувашской АССР. Зак.5256 изменением действующей фиксированной нагрузки, концентрации травящего раствора и времени травления. По заранее построенным зависимостям между указанными параметрами для взятой толщины материала фольги подбирается режим заданного отверстия. Размер отверстия контролируется измерением па микроскопе с помощью окулярного микрометра, Произведенные испытания подтвердили возможность получения отверстий правильной формы, размеров (воспроизводимых и контролируемых) от 4 микрон и выше, бб () о,50 о

ДО

/О

43.

Способ образования отверстий в металлической фольге с применением химического травления, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью получения отверстий правильной геометрической формы, фольгу предварительно в месте образования отверстия деформируют вдавливанием индентора конической или пирамидальной формы.