Мера толщины пленок

 

0П ИСАНИE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву В 813129 (22) Заявлено 280981 (21} 3342399/25-28 (Я) Я. Кд.з

G 01 В 7/06 с присоединением заявки М

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531. 717:

:620 ° 179.

° 142.5.6 (088.8} (23) Приоритетl

Опубликовано 15,0383. Бюллетень М 1.о

Дата опубликования описания 150383

f

Р.А ° Лаанеотс

Я "« .у

)у

Таллинский политехнический инстнвуу (72) Автор изобретения (71) Заявитель

-<54} МЕРЛ ТОЛЩИНЦ ПЛКНОК

Изобретение относится к метрологии а именно к образцовым мерам для по-. верки и.градуировки средств измере-. ° ния толщины покрытий.

По.основному авт. св. Ю 813129 известна мера толщины пленок, содержащая подложку с участком для настрой-, ки толщиномеров на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней поверхности подложки выполнен паз,. . аттестованный по глубине, пленка вне" сена в упомянутый паэ, а верхняя поверхность пленки совпадает с верхней. поверхностью подложки fl}.

Недостатком известной меры является то,,что она не позволяет проводить поверку и градуировку толщиномеров для замера двухслойных покрытий, например, толщины олова с подслоем меди на стали и аналогичных им, т.е. мера толщины пленок имеет узкую область применения, что ограничивает технологические возможности ее использования.

Целью изобретения является расши» рение технологических воэможностей меры толщины пленок.

Поставленная цель достигается тем, что в мере толщины пленок, содержащей подложку с участком для настройки толщиномеров. на ноль и пленку, нанесенную на подложку, на верхней. поверхности подложки выполнен паэ, аттестованный по глубине, пленка внесена в .уйомянутый паз, а ьерхняя поверхность пленки совпадает с верхней поверхностью подложки, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекакхцнйся с основным пазом и имекщий глубину, большую последнего, во второй паз нанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза.

На фиг. 1 изображена мера толщины пленок, вид спереди в сечении; на,фнг. 2 — то же, внд сверху.

Мера толщины пленок содержит подложку 1, на верхней поверхности которой имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров, как для однослойных, так и для двухслойных покрытий, и пленку 3. На этой же поверхности подложки 1 выполнен основной паз, дно 4 которого удалено от верхней поВеркности подложки 1 на величину h, равную требуемой толщине пленки 3. Пленка 3 заполняет основной паз так, что ее верхняя поверхность совпадает с верхней поверхно1004748

Формула . изобретения

Составитель A. Черны)с

Техред Е.Харитончик Корректор Н. Король

Редактор Н. Горват

Заказ 1850/49

Тираж 600 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений,и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская.наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная 4 стью подложки 1. Кроме того, на поверхности подложки 1 выполнен второй паз, пересекакщийся с основным, прй этом дно 5 второго паза удалено от верхней поверхности подложки 1 .на величину h + hen равную требуемой суммарной толщийе пленки 3 и подслоя б, который заполняет второй паз так, что его верхняя поверхность совпада ет с поверхностью дна 4 основного паза.

Прочие размеры меры определяются исходя из размеров измерительных головок толщиномеров.

При изготовлении мер верхнюю поверхность подложки 1 донья 4 и 5 пересекающихся пазов доводят до высОко го класса шероховатости, что.позволяет с высокой точностью аттестовать их глубину, например, интерференцион ным способом.

После нанесения подслоя б во второй паз, проверяют плоскостность поверхности дна 4 основного паза и верхней поверхности подслоя б, .добиваясь их совпадения. Затем наносят в основной паз пленку (покрытие) 3 и также проверявт плоскостность верхней поверхности подложки 1, чтобы обеспечить .совпадение верхних поверхностей пленки 3 и подложки 1.)

Поверку и градуировку толщиномеров двухслойных покрытий выполняют с помощью комплекта мер с различной толщиной подслоя 6 и пленки 3, Нулевую точку шкалы толщиномера йоверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок

2 меры толщины пленок, затем перемещают датчик на участок с двухслойным покрытием, состоящим иэ пленки 3 и подслоя б. Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной покрытия.

Устанавливая датчик толщиномера на участок меры, где имеется покрытие, состоящее иэ пленки 3 без подслоя б, проводят поверку (градуировку) толщиномера для однослойного покрытия.

Комплектомер позволяет поверить характеристику толщиномера в различных точках.

Преимуществом предлагаемой меры толщины пленок является расширение

15. технологическик воэможностей, так как она прзволяет проводнть поверку и градуировку толщиномеров как для однослойных, так и для двухслойных покрытий.

Мера толщины пленок по авт. св.

9 813129,, отличающаяся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, на подложке выполнен второй паз, аттестованный по глубине, пересекающийся с ос3() HoBным пазом и имеющий глубину, большую последнего, во второй паз нанесен подслой пленки так, что верхняя поверхность его совпадает с поверхностью дна основного паза.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 813129, кл. G 01 В 7/06, 1981 (прототип)