Способ определения параметров проводника

 

39:

8) (72) Авторы изобретения

В. И. -Костиков, Е. И: Мозжухин, А. Н Варйкбу,,н Ф.. ЕЬмощапов

l

-ч,1

t с

Научно-исследовательский экспериментальный институт автомобйльного электрооборудования и ввтацриборов (7l) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПРОВОДНИКА

+ dt sò;<т, — bt, н

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров и площадей электропроводящих слоев проводников и покрытий.

Известен способ определения параметров двухслойного проводника, заключающийся в том, что измеряют общее электросопротивление проводника при комнатной температуре (1).

Недостатком способа является необходимость наличия априорной информации о параметрах одного из слоев.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ определения параметров проводника, заключающийся в том, что измеряют общее электросопротивление проводника при различных температурах и по результату решения системы уравнений судят о параметрах проводника (2) Недостаток укаэанного способа состоит в невозможности измерения параметров многослойных проводников из-за отсутствия учета характеристик слоев проводников.

Цель изобретения — определение параметров многослойного проводиика.

Эта цель достигается тем, что согласно способу проводят стабилизирующий отжиг проводника, а температуры измерений выбирают из условия где t; — температура измерения, К; — — интервал температур, в котором

Н 8 не происходят полиморфные превращения слоев проводника, К; дт = 30-50 К.

Способ определения параметров проводника осуществляется следующим образом, Многослойный проводник подвергают стабилизирующему отжигу. Не допускается на20 грев проводника выше температуры возможного взаимодействия слоев между собой. Осаждают проводник до температуры на 30 — 50 К ниже верхней граничной температуры интерваСоставитель Н. Бирюкова

Техред Т.Маточка Корректор Г. Огар

Редактор Н. Бобкова

Заказ 105/53

Тираж 600 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 9 ла отсутствия полимпрфных превращений слоев, измеряют общее злектросопротивление проводника. Постепенно, снижая температуру многослойного проводника, производят измерение общего электросопротивления проводника столько раз, сколько слоев имеет проводник. Последнее измерение проводят при температуре на 30 — 50 К выше нижней граничной температуры интервала отсутствия полиморфных превращений слоев. Решая систему уравнений зависимостей общего электросопротивления многослойного проводника от геометрических параметров слоев проводника, температур, при которых производились измерения, и других параметров, определяют неизвестные Параметры проводника.

Для двухслойного проводника площади 8 и 8з поперечных сечений двух слоев проводника вычисляют по формулам (д » р,((«,дТ» ) „д, - о(» )

11(М - ка)

il4- Ra р»Е (й»дТ+1)(»д Q(q ) 2. (4- с4)

1 где йр — общее электросопротивление проводника, измеренное после осуществления стабилизирующего отжига проводника и охлаждения последнего до температуры Т„на

30 — 50 К ниже верхней границы интервала отсутствия полиморфных превращений слоев проводника;

Ят — общее электросопротивление проводника, измеренное при комнатной температуре Т, hT=T(Т,;

91142 4

o — удельные электросопротивления

4р га материалов первого и второго сло. ев проводника соответственно;

< q o(— температурные коэффициенты

S злектросопротивления материалов первого и второго слоев проводника соответственно.

Предлагаемый способ дает возможность определять различные геометрические параметр ры многослойных проводников при минимальной априорной информации.

Формула изобретения

Способ определения параметров проводника, 15 заключающийся в том, что измеряют общее электросопротивление проводника при различных температурах и по результату решения системы уравнений судят о параметрах проводника, отличающийся тем, 2О что, с целью определения параметров многослойного проводника, проводят стабилизирующий отжиг проводника, а температуры измерений выбирают из условия

6 +64+4, 48-4<

25 и где ti — температура измерения, К; — — интервал температур, в котором цв

H 5 происходят полиморфные превращения слоев проводника, К;

30 М = 30 50К.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. "Metall", 18. Jahrgang, Septebmer, 1964, Heft 9, SS 957 — 958.

3S 2. Орнатский П. П. Автоматические изме. рения и приборы. Киев, "Вища школа", )971, с. 22 — 23 (прототип).