Способ контроля герметичности систем передачи газов
Союз Советски к
Социалистическик
Республик
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (1! ii 004791 (6! ) Дополнительное к авт. с вид-ву (22) 3а 8 еНо 09. 08. 79 (21) 2808427/25-28 с присоединением заявки № (23)Приоритет (51)М. Кл.
С 01М 3Л8
Гееударствеккык кемитет
Опубликовано 15. 03. 83 Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 1 8. 03 . 83
Ао девам нзебретемий и открытий (53) УДК 621. 385. .002(088.8) Б.М. Васильев, О.Ф. Огурцов, В.А. Tepee ов и Н.A. Кондруцкий / - (l: -.;
1 (72) Авторы изобретения с
/ (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ СИСТЕМ
ПЕРЕДАЧИ ГАЗОВ
1о
Изобретение относится к технике испытаний на герметичность систем передачи газов высокой степени чистоты, преимущественно в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Известен способ обнаружения уте" чек в вакуумных системах по проникновению контрольного вещества из окружающей среды в систему и сорбированию его индикатором 1).
Этот способ не позволяет производить количественную оценку течи.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ определения утечки в системе трубопроводов, заключающийся в том, что из потоков газа в трубопроводах отбирают пробы и исследуют их на наличие контрольного газообразного вещества, окружающего систеуИ
Этот способ также не позволяет количественно оценить герметичность системы без,нарушения хода технологического процесса.
Целью изобретения является обеспечение возможности количественной оценки герметичности системы без нарушения хода технологического процесса.
Эта цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичности систем передачи газов, включающе- му операцию определения наличия в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружающего систему, измеряют концентрации контрольного вещества на входе и выходе системы и расход транспортируемого газа и по этим данным определяют степень герметичности.
Произведение изменения концентрации контрольного газа на величину расхода транспортируемого газа характеризует скорость изменения количест91
Формула изобретения
3 10047 ва контрольного вещества в системе, т.е. величину натекания. В качестве контрольного вещества могут быть использованы компоненты атмосферного воздуха, например, пары воды или 5 кислород, не входящие в состав транспортируемого газа. Формирование электрических сигналов, пропорциональных измеряемым величинам, позволяет автоматизировать способ. 1О
Способ осуществляется следующим образом.
Например, при контроле герметичности газовой системы диффузионной печи, предназначенной для транспор- 15 тировки высокочастотных газов осуо
1 шенных до -65 С по точке росы, измеряют концентрацию влаги на входе и выходе системы с помощью кунолометрических преобразователей с точнос — 20 тью до 1 10 об.Ф. Расход газа в системе измеряют с помощью термоанемометрического преобразователя расхода. В диапазоне расходов газа
18-36 л/ч регистрируемая величина 25
-Э натекания составляет 0,25 10 мг/мин.
Использование предложенного способа позволяет контролировать с высокой чувствительностью без прерывания технологического процесса коли- ЗО чество проникающих в систему газообразных примесей и тем самым предотвратить брак при проведении таких процессов как диффузия, эпитаксия, плазмохимия.
Способ контроля герметичности систем передачи газов, включающий операцию определения наличия в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружащего систему, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности количественной оценки герметичности без нарушения хода технологического процесса, измеряют концентрации контрольного вещества на входе и выходе системы, а также расход транспортируемого газа, и по этим данным определяют степень герметичности °
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент Лнглии N 1429204, кл. G 1 N опублик. 1976.
2. Патент ФРГ NÃ 1573799, кл. G 01 M 3/20, опублик. 1974 (прототип).
Составитель M. Иес
Техред Т.Маточка
Редакт ig Н. Горват. g. 4/5
Проектная, Заказ 1868/51 Тираж 871
ВНИИПИ государственного комитета С по pt лам изобретений и открытий
11303, М c:êââ, К-35 Раушская наб
Финн»п 1ПП "П, гент", г. Ужгород, ул серер
Корректор Н. Король
Подписное
ССР
