Способ определения разнотолщинности кристаллических элементов

 

СПОСОБ ОПРВДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЦИННОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ , заключающийся в том, что устанавливают между электродами исследуе мый элемент;t возбуждают в немколебания при двух различ шх конфигурациях электродов, при каящой из них измеряют значения резонансных частот первых raiMOHHK, ito разности определяют разнотолщннность кристаллического элемента, отличающийся т&л, что, с целью повыше -. ния точности, выполняют электроды составными, подключением элементов электродов получают различную нх конфигурацию и возбужцают колебания последовательного резонанса на основной и ангармонической модах. 1 fcb,

„„SU„„,1026009 А

СО)ОЗ СОВЕТСНИХ

О Э И Л

PECAVSЛИН (50 G 01 Б 17/» (ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ -H АВ ЙОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Р

°

Ю °

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3305767/18»28 (22) 01.06.81 (46) 30.06.83. Бюл. Ю 24 (72) С.Н. Кибирев и Л.Ф. Савинов (53) 531. 717 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

В 456351< кл. Н 03 Н 9/00, 1975 (прототип) . (54) (57) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЦЯННОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕХЕНТОВ заключающийся в том, что устанавливают между электродами исследуемый элемент, возбуждают в нем колебання при двух различных конфигурациях электродов, при каждой из них измеряют значения резонансных частот первых гармоник, По разности которых определяют разяотолщинность кристаллического элемента, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повыше ния точности, выполняют электроды составными, подключением элементовэлектродов получают различную их кон4 игурацию и возбуждают колебания последовательного резонанса на основной и ангармонической модах.

102б009

Изобретение относится к средствам ультразвукового контроля и может быть использовано при производстве пьезоэлектрических элементов.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ определения разнотолщинности кристаллических элементов, заключающийся в том, что устанавливают между электродами исследуемый элемент,возбуждают в нем колебания при двух раз-)О личных конфигурациях электродов, при каждой из них измеряют значения резонансных частот первых гармоник, по разности которых определяют разнотолщинность кристаллического эле- )5 мента (1) .

Недостатком указанного способа является то, что при каждом измерении необходима смена электродов. Это приводит к нарушению постоянства зазора между электродами и пьезопластиной, что уменьшает точность оценки разнотолщинности.

Цель изобретения - повышение точности определения разнотолщинности, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения разнотолщинности кристаллических элементов, заключающемус я в том, что устанавливают между электродами исследуемый элемент, в оэбуждают в нем колебания при двух различных конфигурациях электродов, при каждой из них измеряют значение резонансных частот первых гармоник, по разности которых определяют разнотолщинность 35 кристаллического элемента, выполняют электроды составными, подключением элементов электродов получают различную их конфигурацию и возбуждают колебания последовательного резонанса 4() на основной и ангармонической модах.

На фиг.1 изображена электрическая схема устройства, реализующего пред,лагаемый способ при возбуждении на 4 основной моде; на фиг.2 - то же, при возбуждении на ангармонической моде, Устройство содержит неподвижный и подвижный электроды, связанные с исследуемым кристаллическим элементом

1 и с генератором электрических колебаний (не показан).

Сущность способа заключается в том, что устанавливают между элементами неподвижного и подвижного электродов исследуемый элемент 1, возбуждают в нем колебания последовательного резонанса путем включения по схеме фиг.l на основной моде и по схеме фиг.2 при возбуждении на ангармонической моде. Измеряют значения резонансных частот первых гармоник и по их разности определяют разнотолщинность кристаллического элемента 1, Способ осуществляют следующим образом.

В кристаллическом элементе 1 одним из известных способов определяют и фиксируют направление кристаллографических осей в направлении измерения разнотолщинности. Кристаллический элемент 1 укладывают в сОответствующую центрирующую ячейку (не показана) так, чтобы определенная кристалло графическая ось была направлена пер- пендикулярно зазорам элементов неподвижных электродов . Затем на кристаллический элемент 1 устанавливают элементы подвижного электрода и с помощью генератора электрических колебаний и коммутирующего устройства (не показаны) возбуждают поочередно колебания основной и ангармонической моды. Разность частот определяют по показаниям частотомера (не показан), и по полученному результату производят оценку разнотолщинности кристаллического элемента 1.

Использование изобретения позволяет усовершенствовать технологический процесс шлифовки и доводки кристаллических элементов путем повышения точности выполнения технологических операций:.; тем уменьшить разброс динамических параметров иэделий из пьезокерамики.

1026009

Составитель А. Шман

Редактор Л. Филь Техред С. Мигунова Корректор А. Повх

Заказ 4546/34 Тираж 602 Подиис ное

BHHHQH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раужкая наб., д.. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4