Способ изготовления проницаемого элемента контрольной течи

 

09) (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3(51) G 01. М 3/00

1 о

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . " у ). у

Н ABTOPCHOMV СВИДЕ ПЮЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 879344 (21) 3"09563/25-28 (22) 17.03.82 (46) 07.09.83. Бюл. Ю 33 (72) С.Г. Сажин, В. М. Мясников, А.И. Юрченко, А.С. Лузин, В.Б. Поли" карпов и О.Н. Дружков (71) Горьковский ордена Tpygoeoro

Красного Знамени политехнический,инс-:. титут им. А.А. Жданова и Научноисследовательский институт химии при Горьковском государственном уни" верститете им. Н,И. Лобачевского (53) 620.165.29(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

) 879344, кл. G 01 М 3/00, 1980. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОНИЦАЕМОГО ЭЛЕМЕНТА КОНТРОЛЬНОЙ ТЕЧИ по авт. св. Ю879344, отли чаю" шийся тем, что, с целью обеспечения стабильности газового потока через проницаемый элемент, индикаторный газ пропускают через отверстие пластины в направлении, противоположном направлению газового потока металлоорганического соединения через это отверстие, под давлением, превышающим давление в объеме с газообразным металлоорганическим соединением.

1040361

Филиап ППП "Г1атент", г. Ужгород, ул. Проектная, Изобретение относится к техноло- гии изготовления контрольных течей, которые могут быть использованы для калибровки течеискательной аппаратуры при испытаниях на герметичность, По основному авт. св. 1 879344 известен способ изготовления прони" цаемого элемента контрольной течи, заключающийся в том, что используют пластину .с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем, нагревают, осаждают металл путем пропускания через отверстие пластины газообразного металлоорганического соединения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстие индикаторный газ, измеряют пропускную способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла.

Индикаторный газ пропускают через отверстие в том же направлении, что и газообразное металлоор,ганическое соединение (11.

Недостатком известного способа является нестабильность газового потока через проницаемый элемент, вызванная тем, что побочные продукты разложения металлоорганического соединения заносятся индикаторным газом вглубь отверстия пластины и в дальнейшем дестабилизируют пропускную способность проницаемого элемента, Цель изобретения - обеспечение стабильности газового потока через проницаемый элемент, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления проницаемого элемента контрольной течи, заключающемуся в том, что используют пластину с отверстием, помещают ее в вакуумируемый объем, нагревают, осаждают металл путем пропускания через отверстие пластины газообразного металлоорганического соединения, одновременно с осаждением металла пропускают через это отверстие индика торный газ, измеряют пропускную способность отверстия по индикаторному газу и при достижении заданной величины пропускной способности прекращают осаждение металла, индикаторный газ пропускают через отверстие пластины в направлении, противоположном направлению газового потока металлоВНИИПИ Заказ 6919/4

l5

55 б органического соединения через это отверстие, под давлением, превышающим давление в объеме с газообразным металлоорганическим соединением.

На чертеже представлена схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит две вакуумные полости 1 и 2, разделяемые пластиной

3 с отверстием 4 и подключаемые к откачным насосам и 6, дозатор 7, испаритель 8 с нагревателем 9 для испарения металлоорганического соединения и трубкой 10 для подачи паров металлоорганического соединения непосредственно к месту осаждения, нагреватель 11 пластины 3 с терморегулятором 12, источник 13 индикаторного газа и течеискатель 14, Способ осуществляют следующим образом.

Пластину 3 с отверстием 4 диаметром 0,03 мм помещают между полостями

-Z

1 и 2, откачивают их до 1-10 мм рт.ст., подают в испаритель 8 из дозатора 7 металлоорганическое соединение, в качестве которого используютоис -этилбензол хром, пары которого по трубке

10 поступают к отверстию 4. Одновременно с подачей дозы металлоорганического соединения в испаритель 8 в полость 2 от источника 13 подают индикаторный газ (гелий) под давлением

6-10 мм вод. ст., превышающим суммарное давление в полости 1. Концентрацию гелия в полости l определяют с помощью масс-спектрометрического течеискателя 14, При достижении заданной величины потока гелия, т.е ° при достижении заданной величины пропуск" ной способности отверстия 4, прекращают подачу металлоорганического соединения в испаритель 8. Подача индикаторного газа относительно пластины

3 со стороны, обратной объему с металлоорганическим соединением, препятствует проникновению побочных продуктов разложения последнего в по лость отверстия 4. 8 то же время атомы металла, имеющие большие массу и кинематическую энергию, осаждаются на поверхности отверстия, создавая равное и прочное покрытие.

Изобретение позволяет с высокой точностью получать проницаемые weменты со стабильной во времени пропускной способностью.

Тираж 873 Подписное