Датчик свч мощности

 

ДАТЧИК СВЧ МОЩНОСТИ, содержащий отрезок прямоугольного волновода , внутри которого размецен полупроводниковьй элемент -с омическими контактами,о тличающийс я тем, что, с целью пдвьдаения чувствительности и точности.полупроводниковый элемент выполнен из монокристаллической пластины толщиной Р , равной (о,05-0,1)а и длиной не более 1/2 Я , рабочие поверхности которой выполнены в виде приповерхностных , например легирован вых слоев толщиной, составляющей (о,02-0,1 6 соединенных последовательно между собой, при этом удельная проводимость указанных приповерхностных слоев превЕдпает не менее , чем в удельную проводимость материала монокристалличес (Л кой пластины, где а - ширина от .резка прямоугольного волновода; Я- длина рабочей волны. О5 ю 05

СОЮЗ СОЕЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (191 (11) 3(5И Q 01 R 21/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3444772/18-09 (22) 02.03.82 (46) 23,12.83. Бюл.947 ,(72) A.Ì. Белогорцев, A.Н. Комов и В.М. Трещев (71 ) Куйбышевское производственное объединение "Завод им. Масленникова" и Куйбышевский государственный университет (53) 621.317.78(088.8) (56 ) 1. Гашка K., Репшас К. Физическая электроника. Материалы докладов и конференций по внедрению результатов НИР в вузах Литвы. Каунас, 1973, с.162-166.

2. Кемарский В.A., Любченко В.E.

Физика и техника полупроводников

1975, т.9, вып.12, с.2306(прототип). (54 )(57 ) ДАТЧИК СЫЧ МОЦНГЗСТИ, содержащий отрезок прямоугольного волновода внутри которого размецен полупроводниковый элемент с омическими контактами,о т л и ч а ю щ и с я тем что с целью пявьхдения чувствительности и точности полу7 проводниковый элемент выполнен из монокристаллической пластины толщиной (:, равной (0,05-0,1) а и длиной не более 1/2 (, рабочие поверхности которой выполнены в виде приповерхностных, например легированных слоев толщиной, составляющей (0,02-0,1)8,соединенных последовательно между собой, при этом удельная проводимость укаэанных приповерхностных слоев превышает не менее, чем в 10 раз удельную прово2 димость материала монокристаллической пластины, где Q — ширина от.резка прямоугольного волновода, - длина рабочей волны.

1062617

Составитель Г. Степаненко

Редактор Н. Воинова Техред Л,<4икеш I(0ppект 0p Q Dи:тr31<

Заказ 10212/46 Тираж 710 Подпи сн ое

ВНИ! ПП Ро<.ударств»нн 7го комитета CCCP по делам изобретений и открытий

113035, ИО< 1<за, Л-.35, Раушская наб., д. 4/5

I>MHA 1 ПГ! П Пат" 1! т р 1 . Ъ жгopoJI v 7,, IIp0»1< Tн 11

Изобретение относится к технике измерений на СВЧ, Известен датчик СВЧ мощности, содержащий полупроводниковый чувствительный элемент с двумя контактами, помещенный в волновод (1) . «»

Недостатком этого датчика СВЧ мощности является низкая чувствительность за счет большой толщины.

Кроме того, помещение чувствительного элемента в волновод искажает 10 распределение поля и увеличивает погрешность измерений.

Наиболее близким к изобретению является датчик СВЧ мощности, содержащий о грезок прямоугольного волновода, внутри которого размещен полупроводниковый элемент с омическими контактами (2» .

Однако известный датчик СВЧ мощности имеет низкую чувствительность и точность, Цель изобретения -- повышение

ЧУBCTВ!!ТЕЛЬНОСТИ И ТОЧНОСТИ.

Поставленная цель достигается

Te..= что в датчике СВЧ мощности, 25 содержащем отрезок прямоугольного вол!!Овода, внутри которого размещен полупроводниковый элемент с Омическими контактами, полупроводниковый элемент выполнен иэ МоНО кристаллической пластины, толщиной „ равной (0,05-0,11

;е более 1/2 3,, рабочие поверхности которой выполнены в виде приповерхнаст 1ых например легированных слоев то>1 иной, составляю ей (О, 02-0, 1) 0

:=.. »дин =- Híûõ последовательно между со-"

Б01" . при этом удельная проводимость, !<аз а нных приповерхностных= слоев пре > вьгsает не менее, чем в 10 раз удель1!,>ю проводимость материала монокрис таллической пластины, где Ф вЂ” ширина отрезка прямоугольного волновода, длина рабочей волны, На чертеже приведена конструкция датчика (ВЧ мощности.

Датчик СВЧ мощности содержит ОТре зок прямоугольного волновода 1, внутри которого размещен полупроводниковый элемент 2 с омическими конта тами 3, причем полупроводниковый элемент 2 выполнен из монокристалличес= кой пластины 4, рабочие поверхности которой выполнены в виде приповерхностных слоев 5.

Датчик СВЧ мощности работает сл,=дую1!Им образом, Полупроводниковый элемент 2 помещают в отрезок прямоугольногo волновода 1 через неизлучающую щел; так, что направление распространен;:;; волны параллельно плоскости рабочих поверхностей полупроводникового элсмеHòà 2, причем приповерхност;ые слои 5 находятся в поле электромаг. нитной Волны,. а 01!H — ески ==. Онтак 1 ы

3 располэ>кены з;-., Ирене>!а11>< отр»-.ка прямоугольног0 волновода 1 . Г1риповерхностные слои 5 соедин»ны между собой последовательно, и при Ila..

Денни электромагнит нОЙ вОлны CI3 -1 на полупроводниковом элемен:;= 2 наводится ЗДС, снимае1;1ая с оми =.OH нх

КОнхактОВ 3 1! -; на плотности потока СВЧ мощности ..

Наличие в предлагаемом датчик»

СВЧ мощности тонких легирова! ныл:: слоев и их последовательное соединение дает возможность повь>сить чу=:. ствительность датчика,. точность

И Н аДЕ«>КНОСТЬ „ПРИ Э . Оi i Пол /ПРОВ<1ДН>iков1<й элемент такой конструкции дает малое ис;<ажение ка:.; и.-;ы —.Or<в .