Устройство для создания ультрафиолетового излучения

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, содержащее колбу с выходным окном из оптически прозрачного материала, герметично установленные внутри нее иолый катод , экран и анод, и кольцевой вспомогательный электрод, расположенный перед окном и подключенный к источнику питания , управление которого осуществляется оптической обратной связью, отличающееся те.м, что, с целью стабилизации интенсивности выходного ультрафиолетового излучения в процессе работы лампы, вспомогательный электрод выполнен в виде сетки и расположеп внутр колбы, а в качестве источника питания 11СГ1о:1ьзован высоковольтный источник постоянного папряжепия. 2. Устройство но п. 1, отличающееся тем, что сетка вспомогательного электрода изготовлена из материала с низким коэффициентом распыления. (Л Г v-Cs: чNS J 7 /

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

3(51) Н О1 J 61/56

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3472351/24-07 (22) 21.07.82 (46) 23.01.84. Бюл. ¹ 3 (72) В. В. Коваленко и Г. П. Упит (71) Институт физики АН Латвийской ССР (53) 621.327 (088.8) (56) 1. Патент ФРГ № 2410329, кл. Н 01 J 61/12, 1975.

2. Патент США № 3648092, кл. Н 01 J 61,/04, 1972.

3. Зайдель А. Н., Шрейдер Е. Я.

Вакуумная спектроскопия и ее применение.

М:, 1976.

4. Патент Я по н ни № 49-42395, кл. Н Ol J 61/6 8, 1974. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ

УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, содержащее колбу с выходным окном из

„„SU„„ iООВОЗЗ А оптичсски прозрачного материала, герметично установленные внутри нее полый катод, экран и анод. и кольцевой вспомогате.- ьн ь1 и электрод, р ас11оложен ны и перед

Окном и !1одкл10чснный 1 источник питания. управление которого осуществляется оптической обратной связьк>, от.шчающееся тем, что, с целью стабилизации интенсивнОсти выходного lrIhòl>ßôè011 TÎBÎÃÎ из1Учения в процессе работы лампы, вспомогательный электрод выполнен в виде сетки и рас положен внутри колбы, а в качестве источника питания ис1юльзован высоковольтный источник постоянного напряжения.

2. Устройство 11о и. 1, or шчающееея тем, что сетка вспомогательного электрода изготовлсна из материа1а с низким коэффициснтс1м распыления.

1069033

11,0(;>(!(Ин относится к газоразрядH (>HlIlI, ы. Ilзлучcíèÿ низкого давления можл оыть I .II01130IJBHo в спектроскоi: Н и фо 0 И 3IIIJI

Известны ГяlзО()азрядные источники ультр(>фполетовог0 (УФ) излучения с горячим

K(i I(>,l0>I il х(>лОдным кытОлом. В этих ис(llI11K(lx УФ-излучение генерируется в гаЗ(>РЫЗР5! 11101 II„ 133>II(> (13 СPC ;IC !!НЕPTHOI Г3 зя) в оп!ыянной колбе и выходит наружу через окно, изготовленное из прозрачного для нзлучеIIH51 материала. При попадании продук!Ов распыления электродов на окно его прозрачность со временем ухудшается, что приводит к измеllcIIHIo интенсивности выходного УФ-излучения (1) - (3).

Наиболее близким к изобретению по техн!н!есной суп(ности является устройство для создания ультрафполетовогÎ излучения, содержяп(ее колбу с выходным окном из оптJ«IccKH прозрачного материала, гсрмеI JI lHo установленные внутри нее полый като l„BKpBII и янод, и кольцевой вспомог3тсльный электрод, )Bciloложенный перед 0Кном и подключенный к источнику питания, управление которого осуществляется оптиче(. 1(ой 0()pBTHQH связью (4) .

В связи; тс м, ITo вспомогательный электрод рыс!!Оложеп ННс колбы, эффективность этой очилкп малы, светопропускание в Ilpoцесе работы вослянявливыстся не полностью, что ухудшает стабильность выхода ультрафПОЛ(! ОВОГО ПЗЛМЧЕНПЯ.

Ц(г!! 10 изобрсте!шя является стабилизация Jill I сч!спвностп выходного ультрафиолетового излучения в процессе работы ламi l bl, Для достижения указанной цели в устройстве для создания ультрафиолетового нзг>у !сllèH, содержап>ем колбх. с выходHû31 окном из опти Иски llpOBpBчного материала, герметп illo уста!И>влснные внутри нес полый катод, экры!! и анод и кольцевой вспомогательный электрод, расположенный перед

ОкнОм, НОдкл10 1снпый K источникм питания, > ПРЯВ ПСИН(. KOTOPOI 0 ОСУ IILCCTI3 l5ICTCH ческой обратной ci35lзыо, вспомогательный

s, cKJ ð0T, выполнен в виде сетки и pacno-!

3!lb"1 j>II KO3IáI I, я I3 КачсCTIÇC ИсточниКВ I IHT(1 Ill 151 !1СГ10 1 ЬЗОВЫ Н В! I COHO!30 IÜÒÍÛÉ истс>чник IIOcto>IIIH010 напряжения.

В устройстве для создания УФ-излучения сетка вспомогательного электрода изготовлены пз материала с низким коэффициентом рясны. !ен!!я.

На фиг. 1 изображено устройство для создания УФ-излуче!3!(я, общий вид; на фиг. 2 — — вспомогательный электрод.

Устройство для создания УФ-излучения включает в себя стеклянную колбу 1 (фиг. 1), полый катод 2, анод 3, экран 4, вспомогательный электрод 5, выходное окно из оптически прозрачного материала 6. В схему управления питанием вспомогательного электрода входят пластинка 7, блок 8 управления и высоковольтный источник 9 постоянного напряжения. Вспомогательный электрод (фиг. 2), состоит из кольца и закрепленной ня нем сетки, изготовленной из материала с низким коэффициентом распыленияя.

Колба 1 заполнена инертным газом, на-(-L ходягцимся при давлении 10 -10 мм рт. ст. (13,3-1,3 Па) . Зажигание тлеющего разряда между полым катодом 2 и анодом 3 приводит к образованию плазмы. Возникаюшее здесь излучение через окно 6 выходит за пределы колбы и направляется на объект (ня фиг. 1 показано пунктиром). На пути излучения установлена пластинка 7, отклоняюц(ая часть лучей в блок 8, где происходит сравнение его интенсивности с требуемым

25 предельным уровнем. В процессе работы устройства окно 6 покрывается тонкой пленкой продуктов распыления электродов, поглошающей УФ-излучение, что приводит к уменьшению интенсивности прошедшего через окно излучения. При достижении предельного уровня излучения блок 8 включает высоковольтный источник 9 постоянного напряжения, подаюший отрицательный потенциал (2-5 кВ), соответствующий максимальной скорости распыления загрязнения, на вспомогательный электрод. При этом положительные ионы, находяшиеся в объеме колбы, ускоряются в направлении вспомогательного электрода, по инерции пролетают его и производят распыление тонкой пленки, загрязняющей окно. Вследствие это40 го интенсивность УФ-излучения, прошедшего через окно, возрастает. Блок 8 это фиксирует и отключает высоковольтный источник постоянного напряжения. Таким образом, наличие вспомогательного сеточного электрода позволяет проводить очистку окна в

45 процессе эксплуатации лампы, что стабилизирует интенсивность выходного УФ-излучения.

Уровень стабильности УФ-излучения предлагаемого устройства для создания уль; трафиолетового излучения увеличивается в среднем в три-четыре раза.

1069033

Составитель А. Вердеревская

Редактор Т. Кугрышева Техред И. Верес

Заказ I 0930 49 Тираж 687 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР и о делам изобретений и оз крытий ! 13035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. / — 45

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, ая, 4