Стекло

 

СТЕ1СЛО, включающее Si02, , Al20g, PtO отличающее с 51 ,с целью снижения кбэффициента термического расширения и повышения температуры размягчения, оно дополнительно содергкит 2г02 при следующем соотношении компонентов, Мас.%: . SiO -26-29 8-10 AlgOj 7-11 8203 51-54 РЪО ZrOo1-2

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

{!Ю {1})

Ц511 С 03 С 3/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Il0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОЫУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3467835/29-33 (22) 09.07.82 (46) 15.02. 84. Бюл. Р б (72 ) И.К. Немкович, А. Н.Шиленко, О.В.Невар, А.Л.Липскис, Ю.С.Каменецкас и B.È.Ð ïëåíàñ (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени политехнический институт (53) 666.112.4(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

9 79.6196, кл. С 03 С 3/10, 2. Патент C{{IA Р 3551355, кл.252-514

1970 (прототип). (54)(57) СТЕКЛО, включающее 810 ,А? ОЗ, В 0, РЬ0, о т л и ч а и щ ее с я тем что,с цельюснижения кдэффициента термического расширения и повышения температуры размягчения, оно дополнительно содержит ZrO при следующем соотношении компонентов, мас.Ъ:

8 02 26 29

AIgOg 8-10

В209 7 11

РЬО 51-54

ZrOj 1-2

1073193

Таблица 1

Сацержание компонентов, мас„Ъ в стеклах

I 1 ь омпоненты

5 0

26,0 9 О

9,.0

8, О

10,.0

AI „0

PbG

53,0

2„.0

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного легкоплавкого стекла, предназначенного для использования его в микроэлектронике.для герметизации толстопленочных конденсаторов.

Для получения совместимых и не вступающих в химическое взаимодействие с материалами микросхем стеклообразных покрытий коэффициент теплово 1Î

ro расширения стекла должен находиться в пределах (5045) ° 1К град, температура размягчения - 520 + 20 C.

Оптимальная температура обжига покрытия 700420ОС. Оптимальная температура обжига покрытия 700120 С.

Известно стекло для защиты кремниевых пластин Г1), включающее следующие компоненты, мас,%: S102 30-42, В О 2-10, А12ОЗ 4-15, РвО 35-45, 2О

Zn ь-15.

Недостатком стекла является высокая температура варки (150 С} . наиболее близким к предлагаемому являетсястекло )2 A, включающее следую 5 щие компоненты, мас.Ъ;

РвО 50-б0

В20 4,5-22

ЕпО б-15,5

Вioy . 3-21

Л1 О б-15 3G

Недостатком указанного стекла являет .я высокий коэффициент термичес-. .ñão рас- ::.ирения 98-127 б - 10 град и низкая температура- размягчения

313-.3бб "C.

Э

Цел. изобретения — снижение козф- ф.".:", е-:та термического расширения и и ;:в;:ше ., ие темпера"..уры размягчения.

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiOI, AI O>, В О, РЬО, дополнительно содержит Zro при следующем соотношении компонентов, мас.Ъ:

Sion 26-29

AIgo9 8-10 в о 7-11

РЬО 51-54

ЕгО

1-2

Для производства стекла используют обычную технологию производства,включающую составление шихты на основе песка, борной кислоты, сури ка, глинозема и двуокиси циркония и последующую варку стекЛа в электрической и газовых печах при 1350ОС с выдержкой 0,5-1 ч. Выработку различных изделий технического назначения производят методами отливки, прессования и вытягивания, отжиг осуществляют в электрических муфельных печах.

Составы стекло приведены в табл.1.

Физико-химические свойства стекол приведены в табл.2.

Снижение коэффициента теплового расширения и повышение температуры размягчения обеспечивает предлагаемому стеклу требуемые для защитных покрытий вязкостные характеристики, оптимальное соотношение коэффициента теплового расширения и температурь, начала размягчения в сочетании с высоко:.": химической устойчивостью, что позволяет использовать его для формирования монолитных герметизирующих покрытий толстопленочных KQH денсаторов: устойчивых к воздействию химических реагентов и влажности.

1073193 .

Т а блица 2

Показатели

Температура размягчения, С

510т,10

510+10

510410

5511

55т1

55+1

101"

Водоустойчивость (потери массы- ),Ъ

0,02

0,06

0,08

П р и м е ч а н и е: Стекла не кристаллизуются.

Составитель T.Íèêóëüíèêoâà

Техред Т. Фанта, Корректор A. Ильин

Редактор Н.Киштулинец

Тираж 469 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по,делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 261/19

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

КоэФФициент теплового расширения

g.10 град

Удельное электрическое сопротивление при

300 С, Ом см

Стекла г