Устройство для контроля направляющих

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НАПРАВЛЯЮЩИХ, содержащее источник света, два интерферометра Фабри-Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом Одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие , закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос , отличающееся тем, что, с целью повыщения точности контроля, в устройство дополнительно введены две прозрачные пластины , одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри-Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижкой направляющей, а соответствующие им две другие пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно .

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1073565 (51) б 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 34?3239/18-25 (22) 21.07.82 (46) 15.02.84. Бюл. № 6 (72) В. М. Архипов (53) 535.8 (088.8) (561 1. Голубкова В. П., Коронкевич В. П.

Двойной лазерный интерферометр для определения положения объектов. — «Оптикомеханическая .промышленность», 1971, № 4, с. 29-31.

2. Патент ФРГ № 2159134, кл. G 01 В 9/02, опублик. 1977. (5-"г) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

НАПРАВЛЯЮ1ЦИХ, содержащее источник света, два интерферометра Фабри — Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и. систему отсчета смещения интерференционных полос, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, в устройство дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины интерферометров Фабри — Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижной направляющей, а соответствующие им две другие пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной не- Я подвижно.

1073565

Составитель В. Траут

Редактор К. Волощук Техред И. Верес Корректор A. Тяско

Заказ l l 797/37 Тираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР ло делам изобретений и открытий! l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Г!атент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в интерферометрических устройствах контроля для изготовления высокоточных направляющих интерференционных приборов.

Известно устройство для контроля направляющих, содержащее источник света, двойной интерферометр Майкельсона и систему отсчета смещения интерференционных полос (1).

Недостатком данного устройства является ограничение точности контроля свойствами двухлучевого интерферометра, что не позволяет определить отклонение от прямолинейности с точностью, достаточной для . создания сканирующего интерферометра.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является устройство для контроля направляющих, содержащее источник света, два интерферометра Фабри — Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие. закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос (2).

Недостатком известного устройства является ограничение точности контроля из-за отсутствия общего начала координат оптических осей интерферометров и пучка сравнения.

Цель изобретения — повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее источник света, два интерферометра Фабри — Перо, состоя.щих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины пнтерферометров Фабри — Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижной направляющей, а соответствующие им две пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно.

На чертеже представлена схема устройства для контроля направляющих.

Устройство содержит источник света 1, зеркала 2 и 3, объективы 4 и 5, прозрачные пластины 6 и 7, клиновидные пластины 8, 9 и 10, 11, образующие два интерферометра

Фабри — Перо, объективы 12 и 13 и систему отсчета смещения интерференционных полос

14. Прозначная пластина 6 соединена с контролируемой подвижной направляющей 15.

Клиновидные пластины 8 и IO установлены параллельно одна другой на прозрачной пластине 6, соединенной с контролируемой подвижной направляющей 15, а клиновидные пластины 9 и 11 закреплены на прозрачной пластине 7, установленной неподвижно.

Устройство работает следующим образом.

Монохроматический световой поток от источника света 1 падает на два отклоняющих зеркала 2 и 3 и направляется на объективы 4 и 5, после которых два параллельных пучка лучей проходят прозрачную пластину 6, соединенную с контролируемой подвижной направляющей 15. Далее оба пучка лучей входят в два интерферометра Фабри †Пе; образованных клиновидными пластинами 8, 9 и 10, 11, попарно закрепленных на прозрачных пластинах 6 и 7 и образуют две системы интерференционных полос, ортогонально расположенных в исходном по30 ложении. Наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 параллельны одна другой, а наружные отражающие поверхности пластин 9 и 11 расположены под углом одна к другой, а их следы в плоскости, проходящей через наружные поверхности

35 пластин 8 и 10, ортогональны в исходном положении. Объективами 12 и 13 системы полос проектируются на плоскости системы. отсчета смещения интерференционных полос. При движении контролируемой направ40 ляющей 15 наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 наклоняются на один и тот же угол. Так как в исходном положении интерференционных полосы ортогональны, то смещение полос фиксируется относительно этого положения. Проводя последова45 тельно измерения положения полос при движении контролируемой направляющей

15, определяют сразу по двум координатам их разворот.

Устройство может быть использовано для контроля при изготовлении высокоточных направляющих для многолучевого

Фурье-спектрометра.