Электронно-лучевая пушка

 

1. ЭЛЕКТРОННО-rЛУЧЕВАЯ ПУШКА , содержащая корпус с соосно установленными в нем анодом, управляю|1цим электродом и катодом с токоподводом , расположенным в изоляторе и закрепленнымприжимным элементом, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки путем стабилизации режима работы, она снабжена кольцевым охлаждаемым экраном, установленным соосно прижимному элементу; а последний выполнен трехслойным из тугоплавких материалов , причем наружные слои - из материала с большой, работой выхода -эяектронов , а средний - из материала с малой работой выхода электронов. (Л -vl со СО

союз советсних

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ ,РЕСГ(УБЛИН

3(51) В 23 К 15 00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по делАм изоБРетений и ОтнРытий

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

5. Ъ 3 (21) 3360455/25-27 (22) 07..08.81 (46) 07..03.84. Вюл. Р 9 (72) Л,Н.Щавелев.и С.H.Ìèðoíoâ (53) 621.791.72.03(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 725844, класс В 23 К 15/00, 26.06.78 °

2. Патент CIIiA Р 3719791, класс В 23 К 15/ОЭ, 6.03.73.(прототип). (54) (57) 1. ЭЛЕКТРОННЗ-.ЛУЧЕВАЯ ПУШКА, содержащая корпус с соосно уста-. новленными в нем анодом, управляю„„ЯО„„10777 А щим электродом и катодом с токоподводом, расположенным в изоляторе и закрепленным прижимным элементом, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки путем стабилизации режима работы, она снабжена кольцевым охлаждаемым экраном, установленным соосно прижимному элементу; а последний выполнен трехслойным из тугоплавких материалов, причем наружные слои - из материала с большой, работой выхода электронов, а средний - из материала с малой работой выхода электронов.

1077733

2. Пушка поп. 1, о тл и ч ающ а я с я тем, что наружная поверхность среднего слоя прижимного элемента выполнена вогнутой.

Изобретение относится к оборудованию для электронно-лучевой обработ ки, в частности электронно-лучевым пушкам.

Известна электронно-лучевая пушка, 5 содержащая корпус с установленным в нем анодом, управляющим электродом, катодом с токоподводом и защитный нагреваемий экран (1) .

Недостатком этой пушки является невысокое качество обработки из-за частых пробоев.

Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигае-, мому эффекту является электроннолучевая пушка, содержащая корпус с соосно установленными в нем . анодом, управляющим электродом и катодом с токоцодводом, расположенным с изолятора и закрепленным прижимным элементом (2).

Недостатком этой электронно-лучевой пушки является невысокое качество обработки из-за нестабильности режимов ее работы.

Целью изобретения является повышение качества обработки путем стабилизации режима работы пушки.

Поставленная цель достигается тем, что электронно-лучевая пушка, содержащая корпус с соосно установ- З0

; ленными в нем анодом, управляющим электродом и катодом с токоподводом, расположенным в изоляторе и закрепленным прижимным элементом, снабжена кольцевым охлаждаемым экра- 35 ном, установленным соосно прижимному элементу, а последний выполнен трехслойным из тугоплавких материалов, причем наружные слои . из материала:. с большой работой выхода электронов, 40 а средний — из материала .с малой работой выхода электронов.

Наружная поверхность среднего слоя прижимного элемента может быть выполнена вогнутой. 45

Наружные слои прижимного элемента могут быть выполнены из тантала,а... средний слой — из титана.

На чертеже изображена схема электрбнно-лучевой пушки. 50

Электронно-лучевая пушка содержит корпус 1 с соосно установленными в

-нем анодом 2,управляющим электродом

3 и катодом 4 с,.токоподводом .5,рас3. Пушка, по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что наружные слои прижимного элемента выполнены из тантала, а средний слой - из титана.

1 положенным B изоляторе 6 и закрепленным прижимным элементом 7.Пушка снабжена также кольцевым:охлаждаемым экраном 8, установленным соосно прижимному элементу 7, который выполнен трехслойным из тугоплавких материалов, причем наружные слои

9 и 10 — из материала с большой работой выхода электронов, а средний 11 — из материала с малой работой выхода электронов.

Наружная поверхность 12 среднего слоя 11 прижимного элемента 7 может быть выполнена вогнутой. Наружные слои 9 и 10 прижимного элемента 7 могут быть выполнены из тантала, а средний слой 11 - из титана.

Электронно-лучевая пушка работает следующим образом.

Через токоподвод 5 и электрический ввод 13 подают рабочее напряжение на катод 4. С разогретого катода 4 благодаря разнОсти потеициалов между катодом 4, анодом 2 и управлякщим электродом 3 эмиттируется поток электронов, воздействующий на изделие.

При этом токоподвод 5 и его прижимной элемент 7 нагреваются до температуры 1500-1700 С. Химически активный средний слой 11 благодаря высокой температуре и вакууму, поддерживаемому в корПусе 1 пушки, начинает испускать частицы, которые под действием градиента температур устремляются к охлаждаемой поверхности экрана 8.

Н а своем пути ча стицы химически активного металла захватывают частицы металла и газа, находящиеся в корпусе 1. При попадении частицы химически активного металла на поверхность экрана 8 происходит замуровывание захваченных частиц слоем химически активного металла. Благодаря этому из зоны прожектора 14 постоянно во время его работы интенсивно отводятся все газовые и парообразные металлические составляющие, что обеспечивает надежную защиту катода 4 и всех элементов конструкции пушки от вреднего влияния газовых и металлических частиц, попадающих из боны обработки в зону прожектора 14.

1077733

Составитель В.Мельников

Редактор Л.Повхан Техред О.Неце Корректор A.Ïoâõ

Заказ 829/8 Тираж 1037 Подпи сное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная,.4

Электронно-лучевая пушка по сравнению с базовым объектом, являюцимся прототипом, позволяет обеспечить стабильный режим работы высокое качество обработки.