Электрический вакуумный ввод

 

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ ВВОД, содержащий металлический кожух, в ко- • ^tojpoM с зазором, предназначенным для" циркуляции охлаждающей жидкости, установлен токопроводящий полый стержень.взаимодействующие с кожухом опорные и уплотнителъные элементы, отличаю щи и с я тем, что, с целью повьшения надежности путем повышения электрической прочности при повьппении температуры, он снабжен охватывающей кожух по всей длине трубой из изоляционного материала, например кварца, и. охватывающей трубу с зазором изоляционной втулкой, опорные элементы выполнены в внде двух полых гаек и конусообразной втулки, охватывающих трубу на части своей длины с зазором, уплотнительные элементы выполнены в виде набора колец из изоляционного материала и расположены в упомянутом зазоре, при этом изоляционная втулка расположена между гайками.i(Я

СОО3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 3(11 Н 01 В 17/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOhNf СВИДЕТЕЛЬСТВУ ф ; q i "1црм и л (21) 3362677/24-07 (22) 09.12.81 (46) 15.03.84. Бюл. Ф 10 (72) M.È. Чаевский, В.П. Артемьев и А.В. Калинин (71) Краснодарский ордена Трудового

Красного Знамени политехнический институт (53) 621.315(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 284085, кл. Н 01,В 17/26, 1967.

2. Авторское свидетельство СССР

N- 653627, кл. Н 01 В 17/26„ 1977. (54)(57) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ ВВОД, содержащий металлический кожух, в ко- .

:тором с зазором, предназначеннйм для циркуляции охлаждающей жидкости, установлен токопроводящий -полый стержень, взаимодействующие с кожухом опорные и уплотнительные элементы, о т л H ч а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности путем повьппения электрической прочности при повьппении температуры, он снабжен охватывающей кожух по всей длине трубой из изоляционного материала, например кварца, и охватывающей трубу с зазором изоляционной втулкой, опорные элементы выполнены в виде двух полых гаек и конусообразной втулки, охватывающих трубу на части своей длины с зазором, уплотнительные элементы выполнены в виде набора колец из изоляционного материала и расположены в упомянутом зазоре, при этом изоляционная втулка расположена между гайками.

1 1080219

Изобретение относится к электро- ; ц технике электротермического машино- г строения, в частности к вводам для установок ионного азотирования. ч

Известен высоковольтный вакуумный ввод (1j . т

Недостатками этого ввода являются н незащищенность от ионной бомбардиров- м

l ки, что приводит к его разогреву до я температуры азотирования, "холосто- 1О в

1t му расходу электроэнергии, невозмож- с ность применения при температурах т свыше 750 С, сложность конструкции н о из-за применения лабиринтных зазоров. к

Наиболее близким к предложенному 15 н является токоввод, представляющий со» в бой стальной корпус с расположенной в нем системой охлаждения, изоляционные устройства выполнены в виде лабиринтных зазоров j2) .

Недостатками ввода являются ограничение по допускаемой рабочей температуре (до 750 С), что связано с разогревом ввода в результате ионной бомбардировки до температуры азоти- g5 тр рования, "холостой" расход электро- кр энергии на разогрев электрического не ввода, возникновение электрической ро дуги между токовводом и корпусом ка- на меры, отсутствие внутри ввода уст- ЗО же ройства для измерения температуры ны азотируеиых деталей.

Цель изобретения — повьппение на дежности электрического вакуумного ввода путем повышения электрической прочности при повышении температуры.

Поставленная цель достигается ,тем, что электрический вакуумный ввод „ содержащий металлический кожух,в ко- ; 4О тором с зазором, предназначенным для; циркуляции охлаждающей жидкости, ус-, тановлен токопроводящий полый стержень, взаимодействующие с кожухом опорные и уплотнительные элементы, 45 снабжен. охватывающей металлический кожух по всей длине электрического ввода трубой из изоляционного материала, например кварца, и охватывающей трубу с зазором изоляционной 50 втулкой, опорные элементы выполнены в виде двух полых гаек и конусообразной втулки, охватывающих трубу на части своей длины с зазором, уплотнительные элементы выполнены в 55 виде набора колец из изоляционного эластичного материала и расположены в упомянутом зазоре, при этом изоляионная втулка расположена между айками.

На чертеже представлен электриеский вакуумный ввод.

Электрический вакуумный ввод сосоит из токопроводящего полого стержя 1, являющегося каналом для теропарного ввода, наружной трубы 2, вляющейся кожухом с циркулирующей нем жидкостью для охлаждения и лужащей одновременно токоподводом, рубы 3 из изоляционного материала, апример кварца, набора изоляционных олец 4, гаек 5 и опорной изоляционой втулки 6, которая воспринимает ес азотируемых деталей.

Ввод работает следующим образом.

В стержень 1 до упора вставляетя термопара для измерения темперауры азотируемых деталей, к штуцеам М 20 1 5 подводится охлаждаюя жидкость. Затяжкой гайки 5 досгается герметизация узла ввода камеру ионного изотирования на убу 2 по резьбе, например М 12, епится загрузочное устройство с сколькими деталями. После вакуумивания камеры до давления 5-20 ГПа наружную трубу 2 подается напряние 1500 В. Токоввод с закрепленми на нем деталями, является отрицательным полюсом (катодом), положительным полюсом (анодом) служит корпус камеры. На катоде вспыхивает тлеющий разряд, охватывающий азотируемые детали, - идет процесс азотирования.

После завершения процесса азоти-" рования напряжение с токоввода снимается, детали охлаждаются до 100 С, о затеи производится разгрузка проазотированных деталей и загрузка следующей партии деталей на азотирование.

Электрический вакуумный ввод позволяет проводить процесс азотировао

9 ния при температурах до 1000 С (исключен разогрев самого электрического ввода), устранить "холостой" расход электроэнергии на нагрев ввода поУ высить надежность работы в результате устранения возникновения электрической дуги между электрическим вводом и корпусом камеры„ повысить точность измерения температуры азотируемых деталей в результате сов-мещения электрического и термопарного ввода, что повышает вакуумную плотность камеры, способствует уменьшению количества газовых примесей и улучшает ее .работу.

1080219

Составитель Л. Иасальцева

Редактор Л. Веселовская Техред Л.Микеш Корректор И. Эрдейи

Заказ 1368/53 Тираж 683 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4