Устройство для нанесения покрытия на пластины

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПЛАСТИНЫ, включающее дозатор материала покрытия, кассету для пластин и привод со штоком, соединенным с кассетой, отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности нанесения толстослойного покрытия и повышения его качества, оно снабжено механизмом качания кассеты по воронкообразной траектории, содержаш.им кулачок в виде полого цилиндра со скошенным торцом, концентрично закрепленного на штоке, пяту с фиксатором от ее проворота, установленную шарнирно на выполненном сферическим свободном конце штока, и механизмом установки кассеты, выполненным в виде стакана с фланцем, установленного соосно со штоком с возможностью перемеш,ения в вертикальной плоскости, при этом на верхнем торце пяты выполнена кольцевая посадочная канавка под фланец стакана. о оо со о:

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„SU„„1087196

3(5g В 05 С 11/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

+pl, 4jgh pill g ,1 9 °

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1;, К ASTOPGH0MY СВИДЕТЕЛЬСТВУ II (21) 3579352/23-05 (22) 15.04.83 (46) 23.04.84. Бюл. № 15 (72) Н. С. Кирсанов (53) 678.056(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 358019, кл. В 04 В 5/00, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР № 728937, кл. В 05 С 11/02, 1978 (прототип) . (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПЛАСТИНЫ, включающее дозатор материала покрытия, кассету для пластин и привод со штоком, соединенным с кассетой, отличающееся тем, что, с целью обеспечения возможности нанесения толстослойного покрытия и повышения его качества, оно снабжено механизмом качания кассеты по воронкообразной траектории, содержащим кулачок в виде полого цилиндра со скошенным торцом, концентрично закрепленного на штоке, пяту с фиксатором от ее проворота, установленную шарнирно на выполненном сферическим свободном конце штока, и механизмом установки кассеты, выполненным в виде стакана с фланцем, установленного соосно со штоком с возможностью перемещения в вертикальной плоскости, при этом на верхнем торце пять выполнена кольцевая посадочная канавка под фланец стакана.

1087196

15

25

35

ВНИИПИ Заказ 2532/6 Тираж 672 Подписное

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электронной технике, а именно к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов.

Известно устройство для нанесения вязких покрытий на полупроводниковые пластины, содержащее дозатор и центрифугу, установленную внутри ванны сбора брызг (1).

Однако данное устройство не обеспечивает нанесения на пластины равномерной по толщине и без разрывов пленки покрытия.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является устройство для нанесения покрытия на пластины, включающее дозатор материала покрытия, кассету для пластин и привод со штоком, соединенным с кассетой (2).

Однако известное устройство не может обеспечить нанесение равномерного толстого слоя (0,5 мм — 1 мм) покрытия за один цикл необходимого, например, при защите химически стойким лаком лицевой стороны полупроводниковой пластины перед травлением, TBK как распределение покрытия по поверхности пластины обеспечивается за счет центробежных сил, кроме того, покрытие получается за счет многократного нанесения и сушки тонких слоев. В результате того, что при проведении сушки, необходимой для вновь наносимых слоев, предыдущие слои неоднократно подвергаются сушке и теряют при пересушке свои защитные своиства, снижая при этом качество покрытия.

Целью изобретения является обеспечение возможности нанесения толстослойного покрытия и повышение его качества.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для нанесения покрытия на пластины, включающее дозатор материала покрытия, кассету для пластин и привод со што- 40 ком, соединенным с кассетой, снабжено механизмом качания кассеты по воронкообразной траектории, содержащим кулачок в виде полого цилиндра со скошенным торцом, концентрично закрепленного на штоке, пяту с фиксатором от ее проворота, установленную шарнирно на выполненном сферическим свободном конце штока, и механизмом установки кассеты, выполненным в виде стакана с фланцем, установленного соосно со штоком с возможностью перемещения в вертикальной плоскости, при этом на верхнем торце пяты выполнена кольцевая посадочная канавка под фланец стакана.

На чертеже схематически изображено устройство.

Устройство для нанесения защитного покрытия содержит плоскую кассету 1, дозатор 2 материала покрытия, ванну 3, шток 4, связанный с приводом вращения и имеющий выполненный сферическим свободный конец, кулачок 5 в виде полого цилиндра со скошенным торцом, концентрично закреп ленный на штоке 4, пяту 6, шарнирно связанную со штоком 4 посредством втулки 7 и зафиксированную от проворота штырем 8, установленным на неподвижном основании 9 и входящим в асимметрично расположенное на нижнем торце пяты 6 отверстие. Кроме того, на верхнем торце пяты 6 расположен стакан 10 с фланцем, входящим в посадочную кольцевую канавку пяты 6, стакан

10 располагается вертикально при исходном наклонном положении кулачка 5, на фланце стакана 10 установлен штырь 11 для фиксации положения кассеты 1, а внутри стакана 10 расположен привод 12 подъема и опускания, связанный при работе с положением пяты 6 через кулачок 5 и кнопку 13.

Устройство работает следующим образом.

Кассета 1 с пластинами в гнездах устанавливается на фланец стакана 10 с фиксацией положения штырем 11.

В начальном положении стакан 10 поднят и кассета находится в горизонтальном положении. Дозатор 2 материала покрытия подает состав на пластины. Одновременно привод 12 опускает стакан 10, фланец которого входит в кольцевую канавку пяты 6, кассета ложится на находящуюся в наклонном положении верхнюю плоскость пяты 6, При этом от привода шток 4 передает вращение на кулачок 5, который своей наклонной плоскостью торца передает движение пяте 6, которая совершает качание по воронкообразной траектории. Состав равномерно растекается по поверхности пластин, помещенных на качающейся кассете l. После поворота кулачка 5 (количество проворота может быть задано через блок управления) при вращении штока 4 привод 12 возвращает стакан 10 в исходное положение, при этом кассета 1 снова занимает горизонтальное положение и может быть снята со стакана 10 и передана на операцию сушки покрытия.

Применение предлагаемого устройства позволит получить толстостенные покрытия за 1 цикл (нанесение — сушка), так как распределение покрытия по поверхности происходит за счет растекания при покачивании по воронкообразной траектории, повысить стойкость покрытия, исключить разбрызгивание состава с поверхности пластин, что обеспечит его экономию и снизит трудоемкость обслуживания оборудования.