Устройство для нанесения покрытий из паровой (газовой) фазы
УСТРОЙСТВО .ОЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ, содержащее корпус реактора, нагреватель и системы подачи паров металло.органического соединения к отвода газообразны ; продуктов их разложения, отличающееся тем, что, с целью повышения коэффиц;1ента полезного действия путемснижения расхода металлоорганического соединения, оно снабжено распределителем подач инертного газа и стаканом для установки обрабатываемой детали , соединенным с cиcтeмa i i подачи паров металлоорга}1ического соединения и отвода газообразных продукTOf из разложения, при этом распределитель выполнен Б виде кольцевого трубопровода с отверстиями, установленного коаксиально корпусу реактора С S ниже сменного стакана.
СОЮЗ СОНЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН ((9l @ (ill
ЗЫ С 23 С 11/02 газообразных продуктов их разложения, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения коэффициента полезного действия пу-.ем снижения расхода ленного коаксиальн ниже сменнОГО стак о корпусу реактора 2 ана. Я
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3423768/22-02 (22) 16.04.82 (46) 15.05.84. Бюл. 1" 18 (72) Е.A. Ляндаев, Г|,11. Софронов и Л.А. Нестерова (53) 621.793.06(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
N 522281, кл. С 23 С 11/02, 1974.
2. Авторское свидстельство СССР
|| 673666, кл. С 23 С 11/02, 1976. (54) (57) УСТР011СТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ
ПОКРь!Т»Л ИЗ ПАРОБО|1 (ГАЗОВОЙ) ФАЗЫ, содержа(ее корпус реактора, нагре.ватель и системы подачи паров металло.органического соединения и отвода металлоорганическсго соединения, оно снабжено рас:pe;.åëитслем подачи инертногo газа и сменив(м стаканом для установки Об11аб".òû»!ëoìo»» де тали, соединенным с с »стемами подаЧИ Пс POB МЕТаЛ IOO,11 (1НИЧССКОГ О CОЕДИ нения и отво „а газообразных продуктов из разложения, пр 1 зтом распределитель выполнен и виде кольцевого трубопровода с отверстиям », устгновц
1
|
1 !
:IC ((< !: :,tl I;i".I f
1! . (:;11! (1. ° ,:;-(Г(<(, ге .:и; Я3-tl,:(< (),1, t, И<)в
: i : i < Т (3 " (<1- (1 1- .
1) 3 C) (P Е Т C! "l t (3< . 11::) Г =l Т С Л 5:1 <- « ° ..
ПОКРЫТИЙ,, Л (ЯСт О.-тп К VC!:,)(- Т И
3..fIn hI3! ЕСЕНИЛ П,f
Г Я;1 И .-; Е Е }< И Х Е Г) Е и 1 I . 1 Е t i, (t -,, !
13-БЕC I HC) lC ГIИО!!.:ТБО . J!5
И И Л I t О К .) i-i T И:; ".: 3: .
H1.iH, СОС ." ЛГJ.Ã Ð и - ()ПП -.
Н .. DI3Б<)ТC ПЛ <<Е )()1!i (1-, !it); (t<)t !1, 1 1 (.! T »,Ct, I С) П ."I I; l И (Г. (1 О -" Г; * (° ) ". j отно,,,я с;3ообря3:iht.: про..t 1- т:л -.х и<;Е )Ог(П)1,!ò)f (ПП-., — . -,. 1Лг;11 ьг, г(< ( т» ря.,<.П(5, )(РИ -()-,-, -1.3 -i- 1 i) -.! —.i -,— -;,;, ° 1
ИЕС К ОГ<3 СО t(f1 If<: ИЛ .- . : О 1!
Л(ОО)1ЕХО„3Ит I.(Õ fp:- 3 -1 О)КC il,, 3 ЛС
Н<ег ".::Г ЕРХИО(j (. и ll! . "- )И..(3(< г) Е 51 I I t 1 «! О I)
i 1;= г .-(1 г; -1 Р и )†- - i, (-,,:-) -, 1 Р Е и д" тз. и. I;.u(;i ..". . Ое;; .,1<-! по
ИО !)э) ), -1Л,. (1,!.О!< .i I О. t . . < . !),1?:; Г ()
ПОКРЬ!ТИ! . i(c! T3 !.: ТPCC)5.ЯТ l i Г""О" "- -;:(Л . Л - - ("т, 1 и 1- . НИ.Л fl 3 ()Ы Гl(:!, -13 ( фЯ 3 Ы.; С 1! p; i "1= С 111р :.<ня п":çÿòñ lith .-: ". 1c." т- f;-t и;),-" " . я 1<1 Я(1(ОО1 < - И !Ег К<11 О (О- гп(<" 1 .5 ОТВОДЯ Г(13 Ооб|)3 3 HhlX (;)Р;,<. Г" <3(! ° . ": О .!(О)((ЕНИЯ . it, 1. РЕ !1 ЛЙ 1(1() 1 - -,i (! P - -t Ф ре Лис ти p., "ьи!1 р»- и(-и:(-:-.:-,ь ьи: —,, -. Б .. с<и. "=: ПОБЕПХИС)Ь и,- . (11!.1К:,...Яг..! ()3 -.. "i15 ..; flC)t" 3 У(".;1t. -! --; - (" -: .: -;. - -." -, " 1 .i !:Л 1:11 5! Е Т i It !h, l 1 1 ;! Т t . P Я t! :I:li h 3 .; Е 1) Ьh! II(if Ci 1 < 1 ;.....;;.:;; ° f" (И()г)Р 111(1 !:; -1))(Р (i . (5;.1()Я К С lit Г . П. Il(i: :ll:!: it i.i !i
1)!)1(1 —. О :",; Ii»IЮ ) <1 !. !<=. Я() ". lit О. I Ь ! <О !! ))Я Л; .И((Я!л —.....;. т -;;,1()1;, Я -)< Яит;РЛ г(1 1 -i 1- f (J P
I:)1 1" it i 1(< 1092208 4 чем давление паров металлаорганкческого соединения. Контроль осуществляют па показанию манометров (не наказаны). После окончания процесса прекращают подачу паров металлоорга»»»»ческого саед»»кения, перекрывают подачу инертного газа и при достижсник в реакторе комнатной температуры систему прйводят к нормальному давлению, снимают фланец 5 и, звлекают из реактора 1 деталь !7. Введение в реактор 1 промежуточного сме.нного стакана 3 и системы подa:»è инертного газа в полость между стаканам 3 и корпусом реактора 1 при давлениях, превышающих давление пара металлаорганических соединений во внутреннем объеме стакана 3, позволяет устранить распад паров металлаорганкческих соединений на L степках реактора 1 и на внешней псвсрх»»асти покрываемой детали 17. Исключение распада паров металлоорга»п»ческкх соединений на стенке реактора 1 и на в. ешней поверхности дата »и 17 в 2-3 раза снижает расход мет»лаарганкческаго соединения при получении пакрь»тия на внутренней поверх»»аcт»» детали. Кроме того, исключ н»»е побочного распада паров металлоарга»»»»ческих саед»»»»ени»» пр»»водит к снижению концентрации продуктов распада в зоне реакции, которые, нака»;лкваясь, загрязняют образующиеся покрытия в процессе его формирования ° Б результате улучшается качество покрыт»»я. 3, систему подачи паров металлаарганических соединений, состоящую иэ испарителя (не показан), трубопровода 4, жестко соединенного с верхним фланцем 5, конусообразной распределительной воронки б, которая в верхней узкой части имеет небольшой патрубак 7, а нижняя часть снабжена направляющей 8, закрепленной на сменном стакане 3 при помощи разъемного 1и соединения. Сменный стакан 3, выполненный в виде цилиндра, имеет в нижней части коническую воронку 9,. жестко соединенную с трубопроводом 10 системы отвода продуктов реакции 15 (не показана). Вывод трубопровода 10 наружу через корпус реактора 1 осуществляется ! через уплотнительное устройства 11, обеспечивающее герметизацию установки. Система подачи инертного газа состоит кз баллона 12, подогревателя 13, направляющего патрубка 14 и распределителя 15 подачи инертного газа, который представляет собой тор с отверстиями 1б для выхода газа в объем реактора 1. В сменном стакане 3, который меняется в зависимости от размеров детали, размещается обрабатываемая деталь 17. Устройство работает следующим образом. В реакторе 1 устанавливают необходимого размера сменный стакан 3, 35 в который помещают обрабатываемую деталь 17 и закрывают распределитель" ной воронкой 6. Реактор 1 закрывают верхним фланцем 5 и через трубопровод 10 вакуумируют (вакуумный насос не показан). Деталь 17 нагревают, после чего в реактор 1 подают подогретый кнертный газ. Из испарителя (не показан) подают по трубопроводу 4 парь» металлоарганическаго соединения. В процессе получения покрытия давление инертного газа в реакторе 1 поддерживают несколько .выше, формирование газового потока паров метал.»аорганкческкх соединений только в эа»»е реакции повышает в 2-3 раза КПД установки. Кроме того„ стакан, который в зависимости от размеров детали меняется, дает возможность испольэовать один и тат же реактор для нанесения покрытий на внутреннюю паверхность разлкч»»ь»х деталей, расширяет размерный диапазон покрываем»»х деталей. г: / (/ / (! > (1 1 (1, 1 Ч 1, ! ! .,:;. 1 ; .,/.,/- ),.; tl il . / 3 ! ! 1/, ; ,1 / l р ) . t I ) р,, Я р -, !: М1 р=-, l //, 1/ /,1 Л )/ ъ /,; 1" 1 1 1 I /! li 1/ i /„ М, :,",й Г 11 !1
