Подложкодержатель

 

СОЮЗ COBETGHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (111 . (д1) С 23 С 13/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ммж9и

Риг. 7 (21) 3504332/18-21 (22) 25. 10.82 (46) 30.04.84. Бюл. Ф 16 (72) В.П. Баронский, В.П. Жданов, М.В. Кузнецов, А.И. Некрасов и В.Н. Трофимяк

I (71) Институт электросварки им. Е.О. Патона АН УССР (53) 621.793.14(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

У 796248, кл. С 23 С 15/00, 1981.

2. Авторское свидетельство СССР

И 796427, кл. С 23 С 13/08, 1981 (прототип). (54)(57) 1. ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содеРжащий полый цилиндр с фиксаторами для установки подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью экономии материала покрытия путем увеличения плотности упаковки подложек в подложкодержателе, в стенке полого цилиндра вдоль образующих выполнены сквозные щели под углом .наклона друг к другу 0 Ц с 90

1089171

2. Подложкодержатель по п. 1, о тл и ч а ю шийся тем, что фикса» торы выполнены в виде цилиндра, установленного коаксиально полому цилиндру с наружной стороны.

Изобретение относится к получению покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий на подложки в цилиндрических распыпиI тельных системах. / 5

Известен подложкодержатель, выпод-ненный в виде полого незамкнутого тела, например, части цилиндра, на внут. ренней поверхности которого с помощью элементов фиксации размещены подлож- 10 ки таким образом, что они находятся на одинаковом расстоянии от оси распылительного устройства. Использование такого подложкодержателя позволяет получать равномерное по толщине 15 покрытие на больвем количестве непод вижных подложек (1) .

Недостатком данного подложкодержателя является низкое значение коэффициента использования материала bio- 20 крытия из-за малой степени упаковки.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является, подложкодержатель, содержащий полый цилиндр с фиксаторами для установки 25 подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра (2).

Недостатком указанной конструкции подложкодержателя является то, что значительная часть распыленного мате- З0 риала осаждается на масках (экранах), закрывающих участки подложек, не подлежащие напылению. В результате увели чивается расход материала покрытия.

Цель изобретения — экономия мате35 риала покрытия путем увеличения плотности упаковки подложек в подложкодержателе.

Поставленная цель достигается тем, что в подложкодержателе, содержащем полый цилиндр с фиксаторами для установки подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра, в стенке полого цилиндра вдоль образующиХ выполиенц сквозные Щели псд Уоглом наклона 45 друг к другу 0 4 Я с 90

3. Падложкодержатель ло п. 1, о тл и ч а ю шийся тем, что внутри полого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца.

Фиксаторы выполнены в виде. цилиндра, установленного коаксиально полому цилиндру с наружной стороны.

Внутри йолого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца.

На фиг. 1 изображен подложкодер" жатель, продольный Разрез; на фиг. 2разрез А-А на фиг. 1.; на фиг. 3разрез Б-Б на фиг. 2.

Подложкодержатель собирается в следующей последовательности.

Полый цилиндр 1 собирается из со= ставных частей, при этом в кольцевые канавки, выполненные внутри его, помещают маскирующие кольца 2, затем с обоих торцов полый цилиндр скрепляют фланцами 3 при помощи винтов 4. В сквозные щели вставляют подложки 6 и на полый цилиндр надевают фиксатор 5 для установки подложек, после чего фиксатор прикрепляют к полому цилиндру винтами., После этого подложкодержатель готов к работе. Все детали подложкодержателя выполнены из немагнитного материала.

Плоские подложки 6 касаются друг друга по линии, параллельной образующей цилиндра, и своими крайними прямоугольными участками, расположенными внутри полого цилиндра 1, образуют замкнутый многогранник, причем каждая подложка.для предыдущей является маской, а в случае использования подложек, в которых прямоугольные участки отделены прорезями, кольца 2 являются экранами, закрывающими просвет, образованный этими прорезями. Причем, площадь, маскирующая кольцами 2, составляет

20Х от всей запыляемой радиальным потоком материала плоскости.

При таком размещении подложек и колец коэффициент использования материала,. Распыляемого внутри подложСоставитель Н. Серебрянникова

Редактор Е. Кривина Техред M.Tenep

Корректор А. Тяско

«, Заказ 2877/25 Тирам 900

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 1089171 4 кодераателя, достигает 80Х, что уве-, териала, имеющего низкую адгезию с ма" личивает безотходность производства, териалом покрытия, что облегчает опеКольца 2 выполняются сменными из ма- рацию утилизации последнего.